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公开(公告)号：CN114018988B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202111267826.0
申请日：2021-10-28
Applicant: 南京大学 , 南京南欣医药技术研究院有限公司
Abstract: 本发明属于二维材料气体传感器的技术领域，具体涉及二维薄层材料气体传感器、其制备方法及应用，本发明采用275nm氧化硅片作为器件衬底，通过机械剥离的方式将二维材料黏附在衬底上，以温和的紫外光还原溶液的方法在二维材料上沉积单原子，利用电子束蒸镀在二维材料两端蒸镀两条平行的带钛附着层的金属电极，组成传感器件。本发明利用单原子的高效活性开发出了具备高性能的挥发性有机化合物气体传感器。传感器检测下限可达5ppm。此外，本发明器件工艺简单，体积小，在检测丙酮气体和乙醇气体含量方面有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN114018988A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111267826.0
申请日：2021-10-28
Applicant: 南京大学 , 南京南欣医药技术研究院有限公司
Abstract: 本发明属于二维材料气体传感器的技术领域，具体涉及二维薄层材料气体传感器、其制备方法及应用，本发明采用275nm氧化硅片作为器件衬底，通过机械剥离的方式将二维材料黏附在衬底上，以温和的紫外光还原溶液的方法在二维材料上沉积单原子，利用电子束蒸镀在二维材料两端蒸镀两条平行的带钛附着层的金电极，组成传感器件。本发明利用单原子的高效活性开发出了具备高性能的挥发性有机化合物气体传感器。传感器检测下限可达5ppm。此外，本发明器件工艺简单，体积小，在检测丙酮气体和乙醇气体含量方面有广阔的应用前景。
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