公开(公告)号：CN107064051A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710322898.8

申请日：2017-05-09

Applicant: 南京大学

Inventor： 金飚兵 ,  黄志雄 ,  张彩虹 ,  丁亮 ,  吴敬波 ,  侯亚义 ,  陈健

IPC: G01N21/3581

CPC classification number: G01N21/3581

Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度、实时监测细胞的太赫兹传感器的制造方法，包括如下步骤：清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺薄膜；在所述聚酰亚胺薄膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ601并烘干；对光刻胶进行曝光、显影和烘干；在所述光刻胶AZ601和露出的聚酰亚胺薄膜上蒸发一层金属；将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ601与所述光刻胶AZ601上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；去除基片：将基片和聚酰亚胺薄膜剥离。本发明还公开了一种将上述太赫兹传感器用于细胞培养皿实时监测细胞状态的方法。本发明实现太赫兹波段高灵敏度、实时传感的监测。