公开(公告)号：CN105731352B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201610116421.X

申请日：2016-03-01

Applicant: 南京大学

Inventor： 姜校顺 ,  陈远 ,  赵明霄 ,  肖敏

IPC: B81B1/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明实施例公开了一种片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法，其中，该微盘腔包括：自上而下层叠的微盘和支撑结构；所述微盘的尺寸大于所述支撑结构的尺寸。本发明实施例提供的片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法能够提高片上集成硫化砷微盘腔的品质因子。

公开(公告)号：CN105731352A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201610116421.X

申请日：2016-03-01

Applicant: 南京大学

Inventor： 姜校顺 ,  陈远 ,  赵明霄 ,  肖敏

IPC: B81B1/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B1/00 ,  B81C1/00523

Abstract: 本发明实施例公开了一种片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法，其中，该微盘腔包括：自上而下层叠的微盘和支撑结构；所述微盘的尺寸大于所述支撑结构的尺寸。本发明实施例提供的片上集成硫化砷微盘腔及其制作方法能够提高片上集成硫化砷微盘腔的品质因子。