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公开(公告)号:CN119960101A
公开(公告)日:2025-05-09
申请号:CN202510262462.9
申请日:2025-03-06
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于全息多焦点的多芯光纤自适应并行刻写系统及方法,包括全息超快激光光路模块、显微成像模块、光纤夹持定位模块、全息图生成模块;其中,所述光纤夹持定位模块用于夹持并调节多芯光纤的位置和旋转角度,全息图生成模块基于显微成像模块获取的多芯光纤显微图像对多芯光纤的旋转角度进行在线测量,计算出各纤芯的空间坐标,进而利用全息多焦点算法生成相应的三维多焦点全息图,全息超快激光光路模块基于全息图产生三维多焦点光场,对光纤夹持定位模块所夹持的多芯光纤实现光栅或波导等光子器件的自适应并行刻写。本发明能够实现多芯光纤中多个芯内光子器件的并行刻写,大幅提高制备效率,并且制备出的光子器件具有高一致性,满足高性能传感器的需求。