公开(公告)号：CN113671688B

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202110852943.7

申请日：2021-07-27

Applicant: 南京大学

Inventor： 任芳芳 ,  刘泽森 ,  石娅婷 ,  刘兴华 ,  陆海 ,  徐尉宗 ,  周东 ,  王宜望

IPC: G02B26/02 ,  G02B5/20 ,  G02B1/00

Abstract: 本发明公开了一种广谱可调超窄带通滤光系统。该系统包括具有缺陷模的一维光子晶体、级联光子晶体结构和多通道滤光通路；其中，具有缺陷模的一维光子晶体包括由高折射率介电材料和低折射率介电材料周期堆叠构成的布拉格反射结构、缺陷层和布拉格反射结构的镜像结构依次排列构成；多个具有缺陷模的一维光子晶体通过连接层连接在一起形成级联光子晶体结构；多个级联光子晶体结构分别分装在多通道滤光通路中。本发明基于级联光子晶体结构的超窄带通滤光片，具有结构简单，光子晶体薄膜材料选择丰富等优点，通过优化光子晶体结构参数可实现广谱超窄带通滤光，满足了多种场景下的需求。

公开(公告)号：CN113671688A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110852943.7

申请日：2021-07-27

Applicant: 南京大学

Inventor： 任芳芳 ,  刘泽森 ,  石娅婷 ,  刘兴华 ,  陆海 ,  徐尉宗 ,  周东 ,  王宜望

IPC: G02B26/02 ,  G02B5/20 ,  G02B1/00

Abstract: 本发明公开了一种广谱可调超窄带通滤光系统。该系统包括具有缺陷模的一维光子晶体、级联光子晶体结构和多通道滤光通路；其中，具有缺陷模的一维光子晶体包括由高折射率介电材料和低折射率介电材料周期堆叠构成的布拉格反射结构、缺陷层和布拉格反射结构的镜像结构依次排列构成；多个具有缺陷模的一维光子晶体通过连接层连接在一起形成级联光子晶体结构；多个级联光子晶体结构分别分装在多通道滤光通路中。本发明基于级联光子晶体结构的超窄带通滤光片，具有结构简单，光子晶体薄膜材料选择丰富等优点，通过优化光子晶体结构参数可实现广谱超窄带通滤光，满足了多种场景下的需求。

公开(公告)号：CN111613527A

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN202010428472.2

申请日：2020-05-20

Applicant: 南京大学

Inventor： 石娅婷 ,  任芳芳 ,  陆海 ,  徐尉宗 ,  叶建东 ,  周东

IPC: H01L21/265 ,  H01L21/324

Abstract: 一种基于Mg离子注入与高温退火工艺实现氮化镓p型掺杂的方法，包括对GaN材料进行Mg离子注入与高温退火。采用与硅工艺兼容的Mg离子注入与高温退火工艺过程，并结合氮化镓表面保护层的应用，在高温激活Mg受主杂质并修复氮化镓晶格的同时，保护氮化镓表面不被分解，实现氮化镓p型掺杂；所述离子注入过程中引入的第一保护层为氮化铝、铝镓氮、氮化镁、氧化镁、氮化硅中的一种或二种以上多层复合介质，淀积方式为金属有机化合物化学气相沉积、低压化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积或原子层沉积中的至少一种。