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公开(公告)号：CN107917918B
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN201711145236.4
申请日：2017-11-17
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/94
Abstract: 本发明公开了一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将光源照射在待检测超薄透明板的一侧，经待检测超薄透明板的透射光和镜面反射光分别被第一感光装置和第二感光装置接收；如果观测到两个感光装置上同时出现暗斑，则说明瑕疵位于超薄透明板的靠近光源的表面上；如果观测到第一感光装置上出现暗斑而第二感光装置上没有暗斑，则说明瑕疵位于超薄透明板的远离光源的表面上；如果在第一感光装置和第二感光装置上都没有观测到暗斑，则说明超薄透明板上没有瑕疵。本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107917918A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201711145236.4
申请日：2017-11-17
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/94
Abstract: 本发明公开了一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将光源照射在待检测超薄透明板的一侧，经待检测超薄透明板的透射光和镜面反射光分别被第一感光装置和第二感光装置接收；如果观测到两个感光装置上同时出现暗斑，则说明瑕疵位于超薄透明板的靠近光源的表面上；如果观测到第一感光装置上出现暗斑而第二感光装置上没有暗斑，则说明瑕疵位于超薄透明板的远离光源的表面上；如果在第一感光装置和第二感光装置上都没有观测到暗斑，则说明超薄透明板上没有瑕疵。本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。
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公开(公告)号：CN109443705B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201811253669.6
申请日：2018-10-25
Applicant: 南京大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于计算成像的光学镜头的数值孔径测量方法。该方法具体为：搭建数值孔径测量的显微光路系统；然后调节数值孔径测量的光路系统中被拍摄物体与相机的相对位置，得到一张高动态范围的显微图像；根据得到图像内被拍摄物体的尺寸，结合相机像元大小计算出系统放大倍数；把得到的图像进行数字图像处理得到一个具有圆形轮廓的频率图，再进行图像处理计算出圆形的直径；根据圆形的直径结合光路中感光元件像元尺寸、系统放大倍数、照明光中心波长等参数计算出镜头的数值孔径。本发明能够对生活中任意的镜头进行数值孔径的测量，其操作过程简单，测量精度高，并且通过计算得到数值孔径，很少需要人为观测，有效地避免了引入额外的误差。
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公开(公告)号：CN107957424A
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201711145220.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果瑕疵信息变的更模糊了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变小，则说明瑕疵信息位于待测超薄透明板的下表面或者上表面。本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。
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公开(公告)号：CN107957424B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201711145220.3
申请日：2017-11-17
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果瑕疵信息变的更模糊了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变小，则说明瑕疵信息位于待测超薄透明板的下表面或者上表面。本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。
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公开(公告)号：CN109443705A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811253669.6
申请日：2018-10-25
Applicant: 南京大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于计算成像的光学镜头的数值孔径测量方法。该方法具体为：搭建数值孔径测量的显微光路系统；然后调节数值孔径测量的光路系统中被拍摄物体与相机的相对位置，得到一张高动态范围的显微图像；根据得到图像内被拍摄物体的尺寸，结合相机像元大小计算出系统放大倍数；把得到的图像进行数字图像处理得到一个具有圆形轮廓的频率图，再进行图像处理计算出圆形的直径；根据圆形的直径结合光路中感光元件像元尺寸、系统放大倍数、照明光中心波长等参数计算出镜头的数值孔径。本发明能够对生活中任意的镜头进行数值孔径的测量，其操作过程简单，测量精度高，并且通过计算得到数值孔径，很少需要人为观测，有效地避免了引入额外的误差。
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