公开(公告)号：CN102867907B

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201210384063.2

申请日：2012-10-11

Applicant: 南京大学

Inventor： 贾小氢 ,  梁兰菊 ,  金飚兵 ,  康琳 ,  吴培亨

IPC: H01L39/24 ,  C23C14/35 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种制备柔性超导薄膜的方法，包括如下步骤：清洗基片，去除基片表面的有机污染物；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；在涂覆聚酰亚胺膜的基片上直流溅射氮化铌超导薄膜；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明可以制备出厚度(微米量级)可控的柔性超导薄膜，扩大超导薄膜及器件的应用场合和范围。

公开(公告)号：CN102868013B

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201210384068.5

申请日：2012-10-11

Applicant: 南京大学

Inventor： 金飚兵 ,  梁兰菊 ,  贾小氢 ,  吴培亨

IPC: H01P11/00

Abstract: 本发明公开了一种新型太赫兹超宽通带滤波器的制造方法，包括如下步骤：清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光；对曝光后的光刻胶进行显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发第一层金属；将蒸发第一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发第二层金属；将蒸发第二层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明实现频带的拓展。

公开(公告)号：CN102867907A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201210384063.2

申请日：2012-10-11

Applicant: 南京大学

Inventor： 贾小氢 ,  梁兰菊 ,  金飚兵 ,  康琳 ,  吴培亨

IPC: H01L39/24 ,  C23C14/35 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种制备柔性超导薄膜的方法，包括如下步骤：清洗基片，去除基片表面的有机污染物；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；在涂覆聚酰亚胺膜的基片上直流溅射氮化铌超导薄膜；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明可以制备出厚度(微米量级)可控的柔性超导薄膜，扩大超导薄膜及器件的应用场合和范围。

公开(公告)号：CN104764715B

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201510203282.X

申请日：2015-04-24

Applicant: 南京大学

Inventor： 张彩虹 ,  金飚兵 ,  梁兰菊 ,  丁亮 ,  侯亚义 ,  陈健

IPC: G01N21/3586

Abstract: 本发明公开了一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法，包括如下步骤：清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光、显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发一层金属；将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明还公开了一种将上述太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法。本发明实现太赫兹波段多频点、高灵敏度传感的检测。

公开(公告)号：CN104764715A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201510203282.X

申请日：2015-04-24

Applicant: 南京大学

Inventor： 张彩虹 ,  金飚兵 ,  梁兰菊 ,  丁亮 ,  侯亚义 ,  陈健

IPC: G01N21/3586

Abstract: 本发明公开了一种新型多频点、高灵敏太赫兹传感器的制造方法，包括如下步骤：清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光、显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发一层金属；将蒸发一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离去除剩下的光刻胶AZ1500与所述光刻胶AZ1500上的一层金属，然后用显影液去除剩余的光刻胶LOR；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明还公开了一种将上述太赫兹传感器用于肿瘤细胞检测的方法。本发明实现太赫兹波段多频点、高灵敏度传感的检测。

公开(公告)号：CN102868013A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201210384068.5

申请日：2012-10-11

Applicant: 南京大学

Inventor： 金飚兵 ,  梁兰菊 ,  贾小氢 ,  吴培亨

IPC: H01P11/00

Abstract: 本发明公开了一种新型太赫兹超宽通带滤波器的制造方法，包括如下步骤：清洗基片；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜；在所述聚酰亚胺膜上涂覆光刻胶LOR并烘干；在所述光刻胶LOR上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；对光刻胶进行曝光；对曝光后的光刻胶进行显影和烘干；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发第一层金属；将蒸发第一层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；在所述光刻胶AZ1500和露出的聚酰亚胺膜上蒸发第二层金属；将蒸发第二层金属的基片浸泡在丙酮溶液中剥离；在所述基片上涂覆聚酰亚胺膜并进行固化；去除基片：将基片和聚酰亚胺膜剥离。本发明实现频带的拓展。