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公开(公告)号：CN105576115A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510983562.7
申请日：2015-12-24
Applicant: 南京大学
IPC: H01L39/24
CPC classification number: H01L39/2493
Abstract: 本发明公开了一种双面结高温超导BSCCO太赫兹源的制备方法，取BSCCO单晶分别热蒸发上下电极，再通过一次光刻以及离子束刻蚀，即可制作出厚度可达数微米的样品。该制备方法简单、可操作，可缩短样品制备周期和提高样品制备成功率，有利于制作超厚度样品。通过该制备工艺制备出的样品具有发连续波、可调谐、单色性好、功率高等优点。当样品厚度大于2μm时，有比较大的太赫兹辐射功率，可达几十微瓦，相较于传统的双面结样品，辐射功率最高可提高一个数量级，样品的频率可调范围可达500 GHz。
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公开(公告)号：CN105576115B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201510983562.7
申请日：2015-12-24
Applicant: 南京大学
IPC: H01L39/24
Abstract: 本发明公开了一种双面结高温超导BSCCO太赫兹源的制备方法，取BSCCO单晶分别热蒸发上下电极，再通过一次光刻以及离子束刻蚀，即可制作出厚度可达数微米的样品。该制备方法简单、可操作，可缩短样品制备周期和提高样品制备成功率，有利于制作超厚度样品。通过该制备工艺制备出的样品具有发连续波、可调谐、单色性好、功率高等优点。当样品厚度大于2μm时，有比较大的太赫兹辐射功率，可达几十微瓦，相较于传统的双面结样品，辐射功率最高可提高一个数量级，样品的频率可调范围可达500 GHz。
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公开(公告)号：CN105742478A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610152652.6
申请日：2016-03-17
Applicant: 南京大学
IPC: H01L39/24
CPC classification number: H01L39/2467
Abstract: 本发明公开了一种铁基单晶超导体微桥的制备方法，在平整的铁基超导单晶表面直接光刻图形，通过氩离子束刻蚀控制样品厚度，运用翻面技术，经过解理、热蒸发金电极、光刻微桥图形和离子束刻蚀，就可以得到理想厚度的铁基超导单晶微桥样品。该制备方法简单、可操作、样品厚度可控，可缩短样品制备周期并提高样品制备成功率。通过该制备工艺制备出的样品具有厚度可控、高质量、尺寸精度高等优点。
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