公开(公告)号：CN109282903B

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN201710596908.7

申请日：2017-07-20

Applicant: 南京大学

Inventor： 纪小丽 ,  张朝阳 ,  杨琪轩 ,  沈凡翔 ,  黄延 ,  段佳华 ,  朱晨昕 ,  司伟 ,  闫锋

IPC: G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种基于表面电磁波共振的高性能CMOS红外微测辐射热计。该微测辐射热计包括L形微桥结构，微桥结构单元包括桥墩、桥臂和红外吸收体，红外吸收体为多层结构，自上而下依次为氮化硅层、金属光栅层、二氧化硅层、蛇形铝热敏电阻层和二氧化硅层。本发明的微测辐射热计结构与传统的微测辐射热计结构相比，在热敏电阻层上面增加了金属光栅，形成MIM结构，该结构利用表面电磁波激发共振，显著提高了探测器的红外吸收率，增加了探测器响应，实现高效率探测。同时本发明的微测辐射热计基于标准CMOS集成电路工艺，具有工艺上容易实现、价格低廉等优点。

公开(公告)号：CN110361349B

公开(公告)日：2021-09-28

申请号：CN201810288550.6

申请日：2018-04-03

Applicant: 南京大学

Inventor： 任芳芳 ,  罗明成 ,  纪小丽 ,  林栩凌 ,  张朝阳 ,  闫锋

IPC: G01N21/35

Abstract: 本发明公开了一种基于集成电路工艺的多通道红外光谱探测器及其制备方法。该探测器包括多个由金属表面等离激元结构构成的探测阵列单元以及微测辐射热计；金属表面等离激元结构采用正方形周期排列的金属圆柱体，金属圆柱体的周围为空气；微测辐射热计包括桥墩、桥臂、红外吸收体和热敏电阻；金属表面等离激元结构沉积在微测辐射热计的红外吸收体上；多个探测阵列单元的金属表面等离激元结构的参数不相同。本发明通过集成电路工艺，在同一红外探测器阵列芯片上集成金属表面等离激元结构和红外探测器等模块，可获得不同波长的探测信号光信息，能实现对多种波长信号的同时检测，且具有结构简单、便于集成、成本低等优点。

公开(公告)号：CN109282903A

公开(公告)日：2019-01-29

申请号：CN201710596908.7

申请日：2017-07-20

Applicant: 南京大学

Inventor： 纪小丽 ,  张朝阳 ,  杨琪轩 ,  沈凡翔 ,  黄延 ,  段佳华 ,  朱晨昕 ,  司伟 ,  闫锋

IPC: G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种基于表面电磁波共振的高性能CMOS红外微测辐射热计。该微测辐射热计包括L形微桥结构，微桥结构单元包括桥墩、桥臂和红外吸收体，红外吸收体为多层结构，自上而下依次为氮化硅层、金属光栅层、二氧化硅层、蛇形铝热敏电阻层和二氧化硅层。本发明的微测辐射热计结构与传统的微测辐射热计结构相比，在热敏电阻层上面增加了金属光栅，形成MIM结构，该结构利用表面电磁波激发共振，显著提高了探测器的红外吸收率，增加了探测器响应，实现高效率探测。同时本发明的微测辐射热计基于标准CMOS集成电路工艺，具有工艺上容易实现、价格低廉等优点。

公开(公告)号：CN110361349A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201810288550.6

申请日：2018-04-03

Applicant: 南京大学

Inventor： 任芳芳 ,  罗明成 ,  纪小丽 ,  林栩凌 ,  张朝阳 ,  闫锋

IPC: G01N21/35

Abstract: 本发明公开了一种基于集成电路工艺的多通道红外光谱探测器及其制备方法。该探测器包括多个由金属表面等离激元结构构成的探测阵列单元以及微测辐射热计；金属表面等离激元结构采用正方形周期排列的金属圆柱体，金属圆柱体的周围为空气；微测辐射热计包括桥墩、桥臂、红外吸收体和热敏电阻；金属表面等离激元结构沉积在微测辐射热计的红外吸收体上；多个探测阵列单元的金属表面等离激元结构的参数不相同。本发明通过集成电路工艺，在同一红外探测器阵列芯片上集成金属表面等离激元结构和红外探测器等模块，可获得不同波长的探测信号光信息，能实现对多种波长信号的同时检测，且具有结构简单、便于集成、成本低等优点。