公开(公告)号：CN1471180A

公开(公告)日：2004-01-28

申请号：CN03131922.X

申请日：2003-06-18

Applicant: 南京大学

Inventor： 尤立星 ,  吴培亨 ,  许伟伟 ,  康琳

IPC: H01L39/24 ,  H01L39/22 ,  H01B12/00 ,  C04B35/00

CPC classification number: Y02E40/64

Abstract: 本发明公开了一种高温超导材料本征结的制备方法，包括以下步骤：(1)手工剥离；(2)金属层保护；(3)固定；(4)光刻图形；(5)离子刻蚀；(6)绝缘保护；(7)超声清洗；(8)电极构造和连接；其特征是：在(5)中，采用低能离子刻蚀；在(8)中，在台式结构上构造两个顶电极。本发明的优点是：采用低能离子刻蚀，通过精确控制金属层厚度、刻蚀时间等参数，实现了对本征结结数目的初步控制，并进一步利用第二次离子刻蚀和采用补加刻蚀的方法，实现了对结数目的精确控制。该方法适用于各种高温超导材料本征结结数目的控制。

公开(公告)号：CN100346491C

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN03131922.X

申请日：2003-06-18

Applicant: 南京大学

Inventor： 尤立星 ,  吴培亨 ,  许伟伟 ,  康琳

IPC: H01L39/24 ,  H01L39/22 ,  H01B12/00 ,  C04B35/00

CPC classification number: Y02E40/64

Abstract: 本发明公开了一种高温超导材料本征结的制备方法，包括以下步骤：(1)手工剥离；(2)金属层保护；(3)固定；(4)光刻图形；(5)离子刻蚀；(6)绝缘保护；(7)超声清洗；(8)电极构造和连接；其特征是：在(5)中，采用低能离子刻蚀；在(8)中，在台式结构上构造两个顶电极。本发明的优点是：采用低能离子刻蚀，通过精确控制金属层厚度、刻蚀时间等参数，实现了对本征结结数目的初步控制，并进一步利用第二次离子刻蚀和采用补加刻蚀的方法，实现了对结数目的精确控制。该方法适用于各种高温超导材料本征结结数目的控制。