公开(公告)号：CN106087051A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201610396031.2

申请日：2016-06-06

Applicant: 南京大学

Inventor： 吴军 ,  万建国 ,  宋林 ,  潘丹峰 ,  李永超

IPC: C30B29/02 ,  C30B25/14 ,  C30B25/18 ,  C01B31/04

CPC classification number: C30B29/02 ,  C01B2204/04 ,  C01P2002/82 ,  C30B25/14 ,  C30B25/186

Abstract: AB堆垛双层石墨烯的制备方法及其设备：采用固态或液态碳氢化合物为碳源，控制挥发量，通过含高氢分压的惰性载气带到铜箔表面，利用常压化学气相沉积法催化生长双层石墨稀。碳氢化合物采用固体碳源：固态烃类化合物或烃类的衍生物；通过对固体碳源加热，控制碳源挥发量；或碳氢化合物采用液体碳源：液态烃类化合物或烃类衍生物；通过通入惰性气体量的大小，控制液体碳源的挥发量。本发明实现了双层石墨稀的同步生长，得到了高质量晶圆级AB堆垛的双层石墨烯，AB堆垛的双层石墨稀覆盖率可达100%，单晶场效应载流子迁移率高达5300 cm2v‑1s‑1。实验参数控制方便，操作简单，环保高效，很容易扩展到工业大规模卷对卷生产。

公开(公告)号：CN106087051B

公开(公告)日：2019-05-17

申请号：CN201610396031.2

申请日：2016-06-06

Applicant: 南京大学

Inventor： 吴军 ,  万建国 ,  宋林 ,  潘丹峰 ,  李永超

IPC: C30B29/02 ,  C30B25/14 ,  C30B25/18

Abstract: AB堆垛双层石墨烯的制备方法及其设备：采用固态或液态碳氢化合物为碳源，控制挥发量，通过含高氢分压的惰性载气带到铜箔表面，利用常压化学气相沉积法催化生长双层石墨稀。碳氢化合物采用固体碳源：固态烃类化合物或烃类的衍生物；通过对固体碳源加热，控制碳源挥发量；或碳氢化合物采用液体碳源：液态烃类化合物或烃类衍生物；通过通入惰性气体量的大小，控制液体碳源的挥发量。本发明实现了双层石墨稀的同步生长，得到了高质量晶圆级AB堆垛的双层石墨烯，AB堆垛的双层石墨稀覆盖率可达100%，单晶场效应载流子迁移率高达5300 cm2v‑1s‑1。实验参数控制方便，操作简单，环保高效，很容易扩展到工业大规模卷对卷生产。