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发明公开
一种基于场效应晶体管的光纤调制器件及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN115373162A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202211125996.X

申请日：2022-09-16

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐飞 , 吴晨晖 , 徐浩天 , 丁梓轩 , 熊毅丰

IPC: G02F1/01 , G03F7/20 , C23C28/00

Abstract: 本发明公开了一种基于场效应晶体管的光纤调制器件及其制备方法。该光纤调制器件包括光纤、一对光纤端面金属电极、调制材料薄膜、氧化物介质层以及一层栅极金属电极；调制材料薄膜位于光纤的端面；一对光纤端面金属电极分别连接调制材料薄膜；氧化物介质层覆盖在调制材料薄膜上；栅极金属电极覆盖在氧化物介质层上。本发明制备的光纤端面场效应晶体管调制器件可以实现从近红外到中红外波段光调制功能，器件调制效果好，尺寸小，在光调制领域具有广泛应用前景。

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