公开(公告)号：CN114442441A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202210166835.9

申请日：2022-02-23

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  陈笑 ,  黎遥 ,  钟文彬 ,  严羽 ,  侯鉴波 ,  何亮 ,  陆显扬

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种激光等离子体极紫外光源靶材优化方法，通过电子束蒸发的方式在产生激光等离子体的靶材衬底上生长锡薄膜，形成有限质量的固体薄膜靶，通过控制锡层的厚度来控制激光单次作用所消耗的锡量；当高能量脉冲激光与靶材作用产生等离子体时，通过控制薄膜靶的锡量进而优化极紫外光产生的效率和碎屑的产生。通过控制薄膜厚度调整靶材表面生长的锡燃料的量，使其在单次激光脉冲下，光斑作用下的锡可以充分利用，进而可以有效提高激光转化效率和靶材工作物质利用率，并减少碎屑对光学系统的污染。

公开(公告)号：CN114509924A

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202210167231.6

申请日：2022-02-23

Applicant: 南京大学

Inventor： 徐永兵 ,  钟文彬 ,  黎遥 ,  陈笑 ,  侯鉴波 ,  何亮 ,  严羽 ,  陆显扬

IPC: G03F7/20 ,  G01J3/00

Abstract: 一种激光等离子体方式的极紫外光源发生及表征装置，包含高功率纳秒激光器、极紫外光源发生器、掠入射平场光谱仪、极紫外能量探测器和离子碎屑探测器；其中，高功率纳秒激光器发出高能量短脉冲激光，短脉冲激光经过平面反射镜和真空窗片进入极紫外光源发生器，随后短脉冲激光在发生器真空腔内被透镜聚焦并打到靶材上；靶材在短脉冲激光的作用下被加热、蒸发和电离，最终形成高温致密的等离子体，等离子体持续吸收激光能量并向外辐射极紫外光；掠入射平场光谱仪和极紫外能量探测器都与极紫外光源发生器输出窗口相连，分别实现对光源光谱的探测和对光源带内功率的定量测量。