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实用新型
自支撑氮化镓单异质结声电荷输运延迟线失效

公开(公告)号：CN202473927U

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201220110590.X

申请日：2012-03-22

Applicant: 南京大学

Inventor： 王晓彧 , 伍建峰 , 张晓东 , 王钟 , 王昊 , 吴浩东 , 章德

IPC: H01L27/20 , H01L41/08 , H03H9/42

Abstract: 本实用新型公开了一种自支撑氮化镓单异质结声电荷输运延迟线，包括自支撑氮化镓半绝缘型衬底，自支撑氮化镓半绝缘型衬底上设置有缓冲层和声表面波叉指换能器，声表面波叉指换能器位于缓冲层两侧的自支撑氮化镓半绝缘型衬底上；缓冲层上设置氮化镓铝势垒层，氮化镓铝势垒层上为ACT电荷输运沟道结构，ACT电荷输运沟道结构两侧的氮化镓铝势垒层上分别设有输入欧姆电极和输出欧姆电极。本实用新型的位错密度小，有利于声表面波的传播。

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