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公开(公告)号：CN116926472A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202210684258.2
申请日：2022-06-16
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种叠层生长多层二维材料范德华异质结的方法，该方法通过精确控制反应温度以及每一步的反应产物，实现逐层生长，制备出晶圆级、多层数、多种类的高质量范德华异质结薄膜。此外，本发明从物理气相沉积制备金属薄膜，到化学气相沉积得到目标产物，不仅控制了参与反应的原料量，几乎没有浪费原料，与传统的方法相比，原料利用率大大提高，产物的晶体质量大大提高，同时产物具有极强的大气环境稳定性。本发明所制备出的范德华异质结薄膜尺寸可达晶圆级，并可实现图案化生长，对于规模化的生产应用具有重要意义，多种类范德华异质结薄膜材料的成功制备，为光电器件、自旋量子器件等领域的发展提供了材料制备技术支持。
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