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公开(公告)号:CN101519772B
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN200910030912.2
申请日:2009-04-20
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/455
Abstract: CVD材料生长设备的反应源进气分配的方法,让分解温度相差较大的反应气源经各自的输运通道单独地进入反应腔体,并对分解温度较高的源气体进行加热预分解后再让其与分解温度较低的反应源气体充分混合后,在合适的温度下进行反应以外延生长薄膜材料。对于分解温度较高的反应源气体,在输运至石墨反应腔进气端前需对其进行加热而使其预分解,这个过程是通过在导引气体的细石英管周围配置石墨管感应件、经射频加热的方法来实现的。
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公开(公告)号:CN101525742A
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200910030914.1
申请日:2009-04-20
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/44 , C23C16/455
Abstract: 化学气相淀积材料生长设备的装样、取样和样品转移的方法,在化学气相淀积材料生长设备的反应腔体与外界大气之间设置一个只含单纯氮气或其它保护性气体的转移腔及进、取样和转移样品的相应的机械装置,衬底材料不论进、出反应腔体或在不同反应腔之间的转移时,都要先通过这个转移腔;只含单纯氮气或其它保护性气体的转移腔,转移腔结构是与外界相对封闭,只在转移腔腔口与工作台面的底面之间、底部供支撑杠升降的通孔与支撑杠之间留有间隙,既保证在操作过程中转移腔中的气压大于外界大气压、也保留氮气或其它保护性气体的外泄途径;升降丝杆和平移导轨装置位于转移腔的下方,升降丝杠所驱动的升降平台上安装支撑杠、接口法兰及样品架。
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公开(公告)号:CN106784884A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201611039852.7
申请日:2016-11-11
Applicant: 南京大学
CPC classification number: H01M4/90 , H01M4/88 , H01M4/8817 , H01M4/92 , H01M4/926
Abstract: 一种具有三维石墨烯网络结构的纳米贵金属复合催化剂的制备方法,将石墨烯包裹在高分子微球上,形成高分子微球/石墨烯复合粒子,然后在石墨烯表面附着贵金属纳米粒子(NMNPs),形成高分子微球/石墨烯@贵金属纳米粒子三元复合粒子,以此为构建单元,将其分散液滴加在电极表面,堆积在一起形成具有三维石墨烯网络结构的纳米贵金属复合催化剂。制备技术中采用“由基块到整体”的组装搭建理念,通过球形复合粒子的自沉积堆叠作用即可获得石墨烯/空隙通道双网络结构。
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公开(公告)号:CN101519773A
公开(公告)日:2009-09-02
申请号:CN200910030913.7
申请日:2009-04-20
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/455
Abstract: CVD材料生长设备气路的U形管道连接方法,气路中两个卡套式管接头之间的金属管道均采用U形管道,即通过气路空间走向的管路的设计来实现所有连接处均以U形状管道进行连接;且这两个卡套式管接头的开口方向向相同的平行方向。CVD材料生长设备配气装置中气路及元件之间的连接,采用双卡套式管连接,连接管道外形呈U形状;U形的结构还包括各种在U形管上进行延伸角度的管路,U形管的两平行金属管的长度也可有长有短,便于连接应用,亦可在两平行管端部再接出平行的弯管,用以解决两个接头体位置固定后难以实现其间气路管道气密性连接的便捷装卸问题。
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公开(公告)号:CN105583007A
公开(公告)日:2016-05-18
申请号:CN201510979290.3
申请日:2015-12-23
Applicant: 南京大学
CPC classification number: B01J31/063 , B01J35/0033 , B01J35/0073 , H01M4/9075 , H01M4/925
Abstract: 一种具有三维石墨烯网络结构的纳米贵金属复合催化剂,石墨烯包裹在高分子微球上,形成高分子微球/石墨烯复合粒子,石墨烯表面附着贵金属纳米粒子(NMNPs),形成高分子/石墨烯@贵金属纳米粒子三元复合粒子,以此为构建单元堆积,形成具有三维石墨烯网络结构的纳米贵金属复合催化剂,石墨烯网络,为电子的传输提供了良好的通路,堆积在一起的构建单元之间的空隙为反应液的渗透和扩散提供了良好的通道,能够大幅提高NMNPs的利用率和催化效率;高分子微球起到了强支撑的作用,使复合催化剂具有足够的强度。
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公开(公告)号:CN101519773B
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN200910030913.7
申请日:2009-04-20
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/455
Abstract: CVD材料生长设备气路的U形管道连接方法,气路中两个卡套式管接头之间的金属管道均采用U形管道,即通过气路空间走向的管路的设计来实现所有连接处均以U形状管道进行连接;且这两个卡套式管接头的开口方向向相同的平行方向。CVD材料生长设备配气装置中气路及元件之间的连接,采用双卡套式管连接,连接管道外形呈U形状;U形的结构还包括各种在U形管上进行延伸角度的管路,U形管的两平行金属管的长度也可有长有短,便于连接应用,亦可在两平行管端部再接出平行的弯管,用以解决两个接头体位置固定后难以实现其间气路管道气密性连接的便捷装卸问题。
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公开(公告)号:CN101519772A
公开(公告)日:2009-09-02
申请号:CN200910030912.2
申请日:2009-04-20
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/455
Abstract: CVD材料生长设备的反应源进气分配的方法,让分解温度相差较大的反应气源经各自的输运通道单独地进入反应腔体,并对分解温度较高的源气体进行加热预分解后再让其与分解温度较低的反应源气体充分混合后,在合适的温度下进行反应以外延生长薄膜材料。对于分解温度较高的反应源气体,在输运至石墨反应腔进气端前需对其进行加热而使其预分解,这个过程是通过在导引气体的细石英管周围配置石墨管感应件、经射频加热的方法来实现的。
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