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公开(公告)号:CN109979996B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN201910237587.0
申请日:2019-03-27
Applicant: 南京大学
IPC: H01L29/47 , H01L21/285 , H01L29/872
Abstract: 本发明涉及电子材料技术领域,具体涉及一种半金属/半导体肖特基结及其制备方法和肖特基二极管。本发明提供的半金属/半导体肖特基结,包括半导体层和半金属层,所述半导体层和半金属层之间形成肖特基接触;其中,形成所述半金属层的化合物为稀土元素与VA族元素组成的化合物。本发明提供的半金属/半导体肖特基结中半导体层和半金属层的界面热稳定性良好,基于所述半金属/半导体肖特基结的肖特基二极管,理想因子约为1.05,噪声等效功率可降低至pW/Hz1/2甚至亚pW/Hz1/2量级,具有更灵敏的探测性能。
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公开(公告)号:CN109979996A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201910237587.0
申请日:2019-03-27
Applicant: 南京大学
IPC: H01L29/47 , H01L21/285 , H01L29/872
Abstract: 本发明涉及电子材料技术领域,具体涉及一种半金属/半导体肖特基结及其制备方法和肖特基二极管。本发明提供的半金属/半导体肖特基结,包括半导体层和半金属层,所述半导体层和半金属层之间形成肖特基接触;其中,形成所述半金属层的化合物为稀土元素与VA族元素组成的化合物。本发明提供的半金属/半导体肖特基结中半导体层和半金属层的界面热稳定性良好,基于所述半金属/半导体肖特基结的肖特基二极管,理想因子约为1.05,噪声等效功率可降低至pW/Hz1/2甚至亚pW/Hz1/2量级,具有更灵敏的探测性能。
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公开(公告)号:CN115347114A
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN202210983344.3
申请日:2022-08-16
Applicant: 南京大学 , 南京磊帮半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种高阻值半导体结构及其制备方法。该结构包括:自下而上依次为衬底、高阻值缓冲层、拓扑材料层,高阻值缓冲层为III‑V族半导体层,其中,高阻值缓冲层的厚度为5‑50 nm。本发明还公开了一种基于高阻值半导体结构的自旋电子器件结构。高阻值半导体结构通过在拓扑材料层和衬底间引入高阻值缓冲层,在保证拓扑材料层质量的同时,极大地提高了拓扑材料层的外延成功率和可控性,并且可以极大地减小输运实验和器件应用中衬底的分流效应。
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