一种半金属/半导体肖特基结及其制备方法和肖特基二极管

    公开(公告)号:CN109979996B

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN201910237587.0

    申请日:2019-03-27

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明涉及电子材料技术领域,具体涉及一种半金属/半导体肖特基结及其制备方法和肖特基二极管。本发明提供的半金属/半导体肖特基结,包括半导体层和半金属层,所述半导体层和半金属层之间形成肖特基接触;其中,形成所述半金属层的化合物为稀土元素与VA族元素组成的化合物。本发明提供的半金属/半导体肖特基结中半导体层和半金属层的界面热稳定性良好,基于所述半金属/半导体肖特基结的肖特基二极管,理想因子约为1.05,噪声等效功率可降低至pW/Hz1/2甚至亚pW/Hz1/2量级,具有更灵敏的探测性能。

    一种半金属/半导体肖特基结及其制备方法和肖特基二极管

    公开(公告)号:CN109979996A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201910237587.0

    申请日:2019-03-27

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明涉及电子材料技术领域,具体涉及一种半金属/半导体肖特基结及其制备方法和肖特基二极管。本发明提供的半金属/半导体肖特基结,包括半导体层和半金属层,所述半导体层和半金属层之间形成肖特基接触;其中,形成所述半金属层的化合物为稀土元素与VA族元素组成的化合物。本发明提供的半金属/半导体肖特基结中半导体层和半金属层的界面热稳定性良好,基于所述半金属/半导体肖特基结的肖特基二极管,理想因子约为1.05,噪声等效功率可降低至pW/Hz1/2甚至亚pW/Hz1/2量级,具有更灵敏的探测性能。

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