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公开(公告)号：CN108332898B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN201810344418.2
申请日：2018-04-17
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种复合量程气压传感器，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥。本发明还公开了一种高精度探空气压测量装置，本发明提高了传感器的可承受最大压力，由于使用了较厚的外膜，因此可以使用更薄的内膜片，从而实现了更高的灵敏度，有效的减小了数据测量误差，满足了高精度气压测量装置的需求。
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公开(公告)号：CN106895886B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN201710239210.X
申请日：2017-04-13
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01F1/56
Abstract: 本发明公开了一种基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置及方法，装置包括若干个环绕在管道外壁上的巨压阻传感器，巨压阻传感器包括自下至上叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层，绝缘二氧化硅层四周设置有硅铝异质结，硅铝异质结包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层铝和外层硅，硅铝异质结的两端设置有金属边，金属边通过引线连接金属片，金属片通过其上引出的电极连接铝端子；本发明采用硅铝异质结在相同应力下产生更大的阻值变化，使得压阻系数与应变系数成倍的增加，提升了灵敏度，使得测量数据更加准确；巨压阻传感器以120°环绕安装在通过待测气体的管道上，可以测量管道不同位置的数据，得到真实的气体流量值。
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公开(公告)号：CN108332898A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810344418.2
申请日：2018-04-17
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种复合量程气压传感器，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥。本发明还公开了一种高精度探空气压测量装置，本发明提高了传感器的可承受最大压力，由于使用了较厚的外膜，因此可以使用更薄的内膜片，从而实现了更高的灵敏度，有效的减小了数据测量误差，满足了高精度气压测量装置的需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106895886A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201710239210.X
申请日：2017-04-13
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01F1/56
CPC classification number: G01F1/56
Abstract: 本发明公开了一种基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置及方法，装置包括若干个环绕在管道外壁上的巨压阻传感器，巨压阻传感器包括自下至上叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层，绝缘二氧化硅层四周设置有硅铝异质结，硅铝异质结包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层铝和外层硅，硅铝异质结的两端设置有金属边，金属边通过引线连接金属片，金属片通过其上引出的电极连接铝端子；本发明采用硅铝异质结在相同应力下产生更大的阻值变化，使得压阻系数与应变系数成倍的增加，提升了灵敏度，使得测量数据更加准确；巨压阻传感器以120°环绕安装在通过待测气体的管道上，可以测量管道不同位置的数据，得到真实的气体流量值。
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公开(公告)号：CN106895515A
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201710247816.8
申请日：2017-04-17
Applicant: 南京信息工程大学
CPC classification number: F24F3/16 , F24F3/166 , F24F11/30 , F24F11/77 , F24F13/20 , F24F2003/1682 , F24F2110/50 , F24F2110/64 , H01T23/00
Abstract: 本发明公开了一种便携式个人环境监测和净化系统，包括上、下开设有出风口、进风口的壳体，所述壳体内自下至上依次设置有活性炭过滤网、进风口风扇、负离子发生器、静电吸附过滤网和出风口风扇，所述负离子发生器包括自下至上依次设置的若干个放电装置，放电装置包括若干个放电尖端，所述放电装置通过负离子发生电路连接单片机，单片机还分别连接进风口风扇、出风口风扇和电源；本发明能实时监测环境PM2.5浓度值，打开启动按钮，进风口风扇、负离子发生器和出风口风扇开始工作，产生对人体有益的负离子，并将其送至出风口，本发明功耗低，且便于个人携带。
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公开(公告)号：CN206755422U
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201720397010.2
申请日：2017-04-17
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型公开了一种便携式个人环境监测和净化系统，包括上、下开设有出风口、进风口的壳体，所述壳体内自下至上依次设置有活性炭过滤网、进风口风扇、负离子发生器、静电吸附过滤网和出风口风扇，所述负离子发生器包括自下至上依次设置的若干个放电装置，放电装置包括若干个放电尖端，所述放电装置通过负离子发生电路连接单片机，单片机还分别连接进风口风扇、出风口风扇和电源；本实用新型能实时监测环境PM2.5值，打开启动按钮，进风口风扇、负离子发生器和出风口风扇开始工作，产生对人体有益的负离子，并将其送至出风口，本实用新型功耗低，且便于个人携带。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208109322U
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201820545333.6
申请日：2018-04-17
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型公开了一种复合量程气压传感器，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥。本实用新型还公开了一种高精度探空气压测量装置，本实用新型提高了传感器的可承受最大压力，由于使用了较厚的外膜，因此可以使用更薄的内膜片，从而实现了更高的灵敏度，有效的减小了数据测量误差，满足了高精度气压测量装置的需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206648700U
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201720388677.6
申请日：2017-04-13
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01F1/56
Abstract: 本实用新型公开了一种基于巨压阻传感器的高灵敏度气体流量测量装置，包括若干个环绕在管道外壁上的巨压阻传感器，巨压阻传感器包括自下至上叠放的玻璃基底层、硅底层和绝缘二氧化硅层，绝缘二氧化硅层四周设置有硅铝异质结，硅铝异质结包括自内而外依次嵌套的内层硅、中间层铝和外层硅，硅铝异质结的两端设置有金属边，金属边通过引线连接金属片，金属片通过其上引出的电极连接铝端子；本实用新型采用硅铝异质结在相同应力下产生更大的阻值变化，使得压阻系数与应变系数成倍的增加，提升了灵敏度，使得测量数据更加准确；巨压阻传感器以120°环绕安装在通过待测气体的管道上，可以测量管道不同位置的数据，得到真实的气体流量值。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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