公开(公告)号：CN107344730A

公开(公告)日：2017-11-14

申请号：CN201710693227.2

申请日：2017-08-14

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 刘战辉 ,  张李骊 ,  李庆芳 ,  张雅男 ,  邵绍峰

IPC: C01G9/02

CPC classification number: C01G9/02 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/11 ,  C01P2004/52 ,  C01P2004/61

Abstract: 本发明提供一种氧化锌纳米柱阵列的制备方法。利用目前工艺成熟的微电子加工技术，本发明在带有纳米阵列图案的GaN模板上，以Zn(NO3)2和六甲基磷酸三酰胺水溶液作为ZnO纳米柱阵列生长的前驱溶液，采用水热法重力辅助倒置生长制备高度有序、尺寸均匀的ZnO纳米柱阵列。通过制作不同图案的纳米阵列模板生长不同的氧化锌纳米柱阵列；通过调整Zn(NO3)2和六甲基磷酸三酰胺浓度和纳米柱阵列生长温度来调控纳米柱尺寸。本发明通过调整不同的工艺参数可以制备各种高度有序、尺寸均匀的ZnO纳米柱阵列。