一种测量光栅常数的系统和方法

    公开(公告)号:CN108305547A

    公开(公告)日:2018-07-20

    申请号:CN201810203064.X

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本发明公开了一种测量光栅常数的系统和方法。该系统包括光源、扩束准直系统、莫尔条纹成像系统以及图像采集系统,光源发出的探测光通过扩束准直系统成像于莫尔条纹成像系统得到莫尔条纹,该莫尔条纹经图像采集系统采集转化成与所述莫尔条纹宽度、间隔相等的条纹状图。基于该系统的方法包括:光源发出的探测光通过扩束准直系统变成一束平行光进入含有标准光栅和待测光栅的莫尔条纹成像系统得到莫尔条纹,该莫尔条纹经图像采集系统采集转化成与所述莫尔条纹宽度、间隔相等的条纹状图,该条纹状图上的条文间隔即为莫尔条纹的间隔D,根据公式计算得到待测光栅的光栅常数。本发明系统和方法所得的光栅常数精度较高。

    一种测量光栅常数的系统

    公开(公告)号:CN209056145U

    公开(公告)日:2019-07-02

    申请号:CN201820337460.7

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本实用新型公开了一种测量光栅常数的系统。该系统包括光源、扩束准直系统、莫尔条纹成像系统以及图像采集系统,光源发出的探测光通过扩束准直系统成像于莫尔条纹成像系统得到莫尔条纹,该莫尔条纹经图像采集系统采集转化成与所述莫尔条纹宽度、间隔相等的条纹状图。基于该系统的方法包括:光源发出的探测光通过扩束准直系统变成一束平行光进入含有标准光栅和待测光栅的莫尔条纹成像系统得到莫尔条纹,该莫尔条纹经图像采集系统采集转化成与所述莫尔条纹宽度、间隔相等的条纹状图,该条纹状图上的条文间隔即为莫尔条纹的间隔D,根据公式计算得到待测光栅的光栅常数。本实用新型系统和方法所得的光栅常数精度较高。

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