公开(公告)号：CN106373879A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201610893493.5

申请日：2016-10-14

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 谢雨锟 ,  廖继海 ,  李丽秀 ,  杨日福 ,  刘友举 ,  陈伟冰

IPC: H01L21/306 ,  G09B25/02 ,  H05K3/06

CPC classification number: H01L21/30604 ,  G09B25/02 ,  H05K3/06

Abstract: 本发明公开了一种敷铜板腐蚀设备，包括支架、腐蚀槽、储液箱以及磁力离心泵，腐蚀槽略倾斜，腐蚀槽的高端设置着散液盒，散液盒通过管道与磁力离心泵的出水口相连；磁力离心泵的入水口是水平设置的，磁力离心泵的出水口设置成往下；腐蚀槽的后面还设置有后挡板，其特征在于：后挡板上固定有一个海绵架，海绵架的出水口的下面正好是腐蚀槽。本发明的腐蚀设备增加了海绵架，敷铜板在腐蚀完之后先用海绵擦干再到水槽清洗，可大大减少对水槽的污染，从而更环保。

公开(公告)号：CN206116350U

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201621119943.7

申请日：2016-10-14

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 李丽秀 ,  廖继海 ,  谢雨锟 ,  杨日福 ,  刘友举 ,  陈伟冰

IPC: H01L21/306 ,  G09B25/02 ,  H05K3/06

Abstract: 本实用新型公开了一种环保型敷铜板腐蚀设备，包括支架、腐蚀槽、储液箱以及磁力离心泵，腐蚀槽略倾斜，腐蚀槽的高端设置着散液盒，散液盒通过管道与磁力离心泵的出水口相连；磁力离心泵的入水口是水平设置的，磁力离心泵的出水口设置成往下；腐蚀槽的后面还设置有后挡板，其特征在于：后挡板上固定有一个海绵架，海绵架的出水口的下面正好是腐蚀槽。本实用新型的腐蚀设备增加了海绵架，敷铜板在腐蚀完之后先用海绵擦干再到水槽清洗，可大大减少对水槽的污染，从而更环保。