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公开(公告)号:CN117984652A
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202311648952.X
申请日:2023-11-30
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于玻璃全反射的激光转印模具及其加工方法。所述转印模具包括玻璃和固定在玻璃下表面的转印膜,玻璃靠近转印膜的一侧通过激光刻蚀有多个用于对入射光线进行全反射以进行聚光的微槽,转印膜中刻蚀有用于容纳浆料的微通道。转印模具表面的微槽可以对入射光线进行全反射,并将光线汇聚至下底面,从而实现激光转印的目的。利用本发明模具可以进行精准转印,提高转印精度和转印质量,同时也可以提升生产效率,降低成本。
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公开(公告)号:CN115181962A
公开(公告)日:2022-10-14
申请号:CN202210763995.1
申请日:2022-06-30
Applicant: 华南理工大学
IPC: C23C16/48
Abstract: 本发明公开了一种基于激光诱导的高粘度浆料多次压印方法。包括:1、压印模板的制备:首先在透明基片上粘贴聚合物薄膜,然后在薄膜上涂抹高粘度浆料,利用激光辐照吸收层,在吸收层与接收基片间会形成稳定的浆料桥;使激光沿预设路径在吸收层上扫描,浆料桥会持续拓展,进而获得所需图案,浆料桥拉伸断裂形成凸起结构,凸起结构即浆料压印模板;2、压印过程:将得到的凸起结构面朝接收基片放置,持续缩短两者间距,直至凸起结构接触接收基片,并黏附接收基片上,形成稳定的浆料桥;将浆料压印模板垂直移去,在浆料薄膜上会获得新的凸起结构,在接收基片上得到转移靶材,压印步骤可重复多次,即进行高粘度浆料的多次压印,提升压印效率。
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