公开(公告)号：CN101105468B

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200710027909.6

申请日：2007-04-30

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 凌志远 ,  罗光霞 ,  陈烁烁 ,  王金池 ,  李屹

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明公开了多孔阳极氧化铝湿度传感器及其制备方法。该传感器金属膜电极为多孔金属膜电极，多孔阳极氧化铝膜片和多孔金属膜电极上的孔洞沿膜片厚度方向连通并在上下表面开口。其制备方法是采用二步阳极氧化法和酸腐蚀相结合工艺获得双通孔阳极氧化铝膜片，用射频磁控溅射法在膜片上下表面沉积金属电极，使金属电极复型阳极氧化铝膜片的表面形貌，形成电极孔洞与阳极氧化铝孔洞相互连同结构的湿度传感器。该传感器可以在全相对湿度范围内测量，具有结构简单、体积小、响应快、重复再现性好、性能稳定等特点，特别适合在精密电子仪器中使用。

公开(公告)号：CN101105468A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200710027909.6

申请日：2007-04-30

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 凌志远 ,  罗光霞 ,  陈烁烁 ,  王金池 ,  李屹

IPC: G01N27/12 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明公开了多孔阳极氧化铝湿度传感器及其制备方法。该传感器金属膜电极为多孔金属膜电极，多孔阳极氧化铝膜片和多孔金属膜电极上的孔洞沿膜片厚度方向连通并在上下表面开口。其制备方法是采用二步阳极氧化法和酸腐蚀相结合工艺获得双通孔阳极氧化铝膜片，用射频磁控溅射法在膜片上下表面沉积金属电极，使金属电极复型阳极氧化铝膜片的表面形貌，形成电极孔洞与阳极氧化铝孔洞相互连同结构的湿度传感器。该传感器可以在全相对湿度范围内测量，具有结构简单、体积小、响应快、重复再现性好、性能稳定等特点，特别适合在精密电子仪器中使用。