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发明公开
一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质审中-实审

公开(公告)号：CN115439523A

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN202210925230.3

申请日：2022-08-03

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 杜娟 , 杨钧植

IPC: G06T7/60 , G06T7/11 , G06T7/136 , G06T7/66 , G06T5/20 , G06T7/12

Abstract: 本发明公开了一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质，包括：采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进行预处理；在目标图像预先设置的ROI区域内，根据目标边缘拟合得到基准直线；在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点，由引脚顶点到基准直线作垂线得到引脚长度；根据基准直线对目标图像进行角度校正，校正后的目标图像获取引脚区域正向图，并求得引脚轮廓；获得引脚轮廓中每个子轮廓的质心，并以质心坐标替代引脚顶点坐标，根据质心间距获得引脚间距。本发明不仅提高了边缘直线拟合的准确度，还加快了算法检测速率，大大减少了引脚边缘起伏对检测带来的影响，减少了检测对打光条件的依赖，提高了检测精度。

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