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公开(公告)号：CN119187958A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411677125.8
申请日：2024-11-22
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明提供了一种小功率激光在透明材料内部制备微通道阵列的方法，包括：将透明材料进行预热；工作台上设置靶材，将透明材料紧贴地设置于靶材上方；将小功率激光调整至垂直于透明材料入射，且激光焦点调整在透明材料和靶材的交界面上；根据微通道阵列的倾斜角度和相邻微通道间距，设定小功率激光的扫描速度和扫描距离；小功率激光从靶材诱导出的等离子体在透明材料下表面烧蚀出微腔，且等离子体被限制在微腔内；小功率激光进行扫描，在扫描过程中激光焦点保持在所述交界面上，以得到倾斜角度可调的微通道。该方法引入靶材并使用小功率激光诱导等离子体辅助烧蚀，可在透明材料内部制备可调角度的微通道阵列，可节省能耗和降低生产成本。
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