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公开(公告)号:CN117161585A
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN202311075598.6
申请日:2023-08-24
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种在石英玻璃内部制备倾斜角度可调的微通道的方法,包括:放置石英玻璃,使得石英玻璃的上表面和下表面均与空气接触;纳秒红外激光垂直于石英玻璃的上表面入射,通过聚焦透镜使其激光焦点设置在石英玻璃的下表面;设置不同的扫描速度,让纳秒红外激光聚焦在石英玻璃下表面扫描设定的距离,从而得到从石英玻璃下表面往石英玻璃上表面延伸且倾斜角度可调的微通道。本发明利用纳秒红外激光在石英玻璃内部制备微通道,大大降低制备成本,而且加工速度快,适合工业化应用;不需要设计专门的光刻模板,不需要其他部件配合,制备效率高,实现要求较低。通过控制纳秒红外激光的扫描速度,能依据需要得到不同倾斜角度的微通道。
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公开(公告)号:CN116329759A
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN202310061884.0
申请日:2023-01-18
Applicant: 华南理工大学
IPC: B23K26/352 , B23K26/60 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供了一种基于表面微织构诱导的高质量激光抛光方法,包括如下步骤:设定工件待抛光面的微织构诱导层的几何参数;在工件待抛光面上加工出设定的微织构诱导层;将具有微织构诱导层的工件待抛光面进行超声波清洗;将工件放入密闭的氩气氛围中;根据工件金属材料物理性能及微织构诱导层的结构设定激光加工参数和激光扫描路径;根据激光加工参数和激光扫描路径,对工件待抛光面进行激光抛光处理。该方法在激光抛光加工前先在待抛光面加工出微织构诱导层,可使得熔体流动更加均匀、规律,有利于激光抛光后工件表面质量及物理性能的提高。
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