电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN116299087A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310202938.0

    申请日:2023-03-03

    Abstract: 本发明公开一种电磁感应式与洛伦兹力式复合的微型磁传感器及制备方法,该传感器包括高频谐振组件、低频谐振组件和两组件间的耦合梁;高频谐振组件包括驱动电极、高频谐振结构、高频谐振结构侧第一绝缘层、洛伦兹力驱动线圈、高频谐振结构侧第二绝缘层、金属屏蔽层、高频谐振结构侧第三绝缘层、电磁感应线圈;所述低频谐振组件包括感应电极、低频谐振结构、低频谐振结构侧绝缘层和金属线圈。本发明通过在內共振耦合结构上建立静电驱动‑电磁感应及洛伦兹力驱动‑静电敏感的复合磁敏架构,以两类磁敏输出信号的叠加提升磁感性能;同时利用內共振的低频谐振振幅放大效应实现低频谐振结构平板电容作为磁感信号输出,降低洛伦兹力式磁敏元件功耗。

    一种内共振耦合的电磁感应式微机械磁传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN116243220A

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202310202922.X

    申请日:2023-03-03

    Abstract: 本发明公开一种内共振耦合的电磁感应式微机械磁传感器及制备方法,该电磁感应式微机械磁传感器包括第一谐振结构、第二谐振结构以及两谐振结构间的耦合梁;本发明通过耦合梁将谐振频率为整数比的两个谐振结构连接形成一个内共振耦合谐振系统,该系统能够在某一谐振结构达到谐振非线性后将过载的非线性能量通过内共振原理传递给另一谐振结构并使之谐振,从而通过两个谐振结构的电磁感应式磁感信号输出的叠合提高磁传感器性能,突破传统单一谐振结构型电磁感应式磁传感器难以通过静电驱动力的过载增加提高器件性能的局限性。

    高频感应-低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法

    公开(公告)号:CN116087841A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202310202929.1

    申请日:2023-03-03

    Abstract: 本发明公开一种高频感应‑低频检测的洛伦兹力式微型磁力计及制备方法,该磁力计包括高频谐振组件、低频谐振组件以及两组件间的耦合梁;所述高频谐振组件包括驱动电极、高频谐振结构、绝缘层以及金属线圈;所述驱动电极设置在高频谐振结构与衬底片之间;所述低频谐振组件包括感应电极和低频谐振结构;所述高频谐振结构的谐振频率与低频谐振结构的谐振频率成整数比且大于等于2:1。本发明具有谐振频率比大于等于2:1的高频谐振结构与低频谐振结构形成的内共振耦合谐振系统,其中洛伦兹力式磁场感应结构置于高频谐振结构上,而检测输出结构置于低频谐振结构上,同时高频谐振结构采用静电驱动和洛伦兹力驱动相结合,有效降低磁力计功耗。

    基于雾幕或者烟幕的裸眼3D投影仪

    公开(公告)号:CN214896046U

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202022899697.4

    申请日:2020-12-04

    Abstract: 本实用新型涉及3D显示技术领域,特别是涉及基于雾幕或者烟幕的裸眼3D投影仪,包括至少四块半反半透的玻璃,至少四块玻璃做为侧面组成倒置的正棱台,每个侧面与底面的夹角均为45°,倒置的正棱台四周至少设有三个视频源显示装置,倒置的正棱台上方设有雾幕产生器或者烟幕产生器,雾幕产生器或者烟幕产生器四周设有向下出风的风幕装置。加入水蒸气或者一些漂浮的水珠以营造一个空间雾幕,或者加入一些漂浮的烟尘以营造一个空间烟幕,利用小水珠或者烟尘的漫反射来形成3D立体图像,在原来设备的基础上加装雾幕产生器或者烟幕产生器,在雾幕产生器或者烟幕产生器四周加装风幕装置防止小水珠或者烟尘飘落到倾斜设置的玻璃上影响成像。

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