一种一体化大面积钙钛矿薄膜退火工艺

    公开(公告)号:CN119855463A

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202411977359.4

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明提供了一种一体化大面积钙钛矿薄膜退火工艺,旨在制备高质量的钙钛矿薄膜。具体方法包括以下步骤:首先,将钙钛矿层前驱体溶液通过液相法制备成钙钛矿液态膜;接着,将液态膜移至热台上进行预退火处理;随后,将预退火后的薄膜转移至空气炸锅或固定温度干燥空气蒸汽柜中,使用带温度的气体进行加热处理。此工艺有效缩短了钙钛矿薄膜的退火时间,降低了对太阳能电池基底玻璃平整度的要求,减少了因大面积金属热台热变形而产生的问题,并降低了薄膜的缺陷态密度,增强了钝化效果。通过引入带温度的气体从六个方向对薄膜进行传热退火,显著提升了大面积钙钛矿薄膜的生产良率和薄膜的整体质量。与传统的热台退火工艺相比,该方法对玻璃基底的兼容性更高,且具有退火时间短、良率高等优点。

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