一种同步实现沉积调控和掺杂的TiO2化学浴沉积技术

    公开(公告)号:CN119824401A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411900550.9

    申请日:2024-12-23

    Abstract: 本发明公开了一种同步实现沉积调控和掺杂的TiO2化学浴沉积技术,具体包括以下步骤:(1)使用四氯化钛溶液配置前驱液;(2)在配置好的溶液中加入絮凝调节掺杂剂SnCl2·2H2O;(3)清洗基底,在紫外臭氧机中清洗后放在容器底部;(4)步骤(3)完成后,取步骤(2)获得的溶液倒入容器中;(5)步骤(4)完成后,放入水浴锅中,等待一段时间后取出容器,用去离子水清洗;(6)将步骤(5)获得的FTO玻璃按水、乙醇、水的顺序冲洗后,使用氮气气枪吹干。本发明提供了一种简便高效的化学浴沉积薄膜的成膜技术,可有效的沉积更小的纳米粒子,获得粗糙度降低的致密TiO2薄膜。同时,絮凝剂中的Sn离子掺杂到TiO2晶格中,提高薄膜电导率。

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