公开(公告)号：CN112111725A

公开(公告)日：2020-12-22

申请号：CN202011196300.3

申请日：2020-10-31

Applicant: 华北水利水电大学

Inventor： 郭海滨 ,  徐娟 ,  郑辉 ,  刘河潮 ,  杨琼 ,  徐彦 ,  杨红新

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/54

Abstract: 一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置及方法，该方法包括以下步骤：a.包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓外套设有镀膜室，镀膜室内均匀设置气体挡板，气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；b.在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板，Mask挡板上均匀设置有热电偶；c.热电偶与测温仪相连；d.镀膜机抽真空，待真空达到要求值，进行开靶作业；e.设定不同的靶位功率，同时通入氩气，通过测温仪得到不同功率下的Plasma温度。此方法比感温纸测试方法精确，灵敏度高；可根据需要，测试一定时间内Plasma温度变化情况；成本低，可多次使用。

公开(公告)号：CN212610886U

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN202022472560.0

申请日：2020-10-31

Applicant: 华北水利水电大学

Inventor： 郭海滨 ,  徐娟 ,  郑辉 ,  刘河潮 ,  杨琼 ,  徐彦 ,  杨红新

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/54

Abstract: 一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓外套设有镀膜室，镀膜室内均匀设置气体挡板，气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板，Mask挡板上均匀设置有热电偶，热电偶与测温仪相连。采用上述技术方案，本实用新型的有益效果是：1.提供一种专业的测量镀膜机Plasma温度的方法，此方法比感温纸测试方法精确，灵敏度高；2.可根据需要，测试一定时间内Plasma温度变化情况；3.成本低，可多次使用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利