公开(公告)号：CN116045842A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202211629568.0

申请日：2022-12-19

Applicant: 华侨大学

Inventor： 易定容 ,  陈思远 ,  叶一青 ,  吴栋梁 ,  胡欢欢

IPC: G01B11/24 ,  G02B21/36 ,  G01B11/06 ,  G01B9/04

Abstract: 本发明提供一种基于差动并行共聚焦的3D测量误差修正方法及系统，属于光学显微成像领域，方法包括：分别采集第一波段及第二波段照明下待测样本的共焦图、第三波段及第四波段照明下待测样本的宽场图，得到第一波段共焦图、第二波段共焦图、第三波段宽场图及第四波段宽场图；根据第一波段共焦图及第三波段宽场图确定第一波段修正图；根据第二波段共焦图及第四波段宽场图确定第二波段修正图；将第一波段修正图与第二波段修正图相减得到差动信号图；根据差动信号轴向响应曲线将差动信号图转换为高度图，以测量待测样本的表面高度。有效消除了差动信号受到光照不均及样本反射率不均等的影响，提高了多波段差动并行共聚焦3D测量结果的精度。