一种高深宽比微孔的测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN115420206A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211121561.8

    申请日:2022-09-15

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本申请涉及一种高深宽比微孔的测量装置及测量方法,该装置包括相机、多通道光源、光束调节装置及载物台,所述载物台用于放置待测微孔样品;所述相机与所述载物台沿竖直方向同轴设置,所述相机与所述载物台之间设置光束调节装置;所述多通道光源用于输出不同的单色光源,并经由所述光束调节装置实现该测量所需光束的光强与方向转折;所述相机用于获取任一两种由待测微孔样品同一位置反射出的单色光源,并发送至计算机,采用多通道光源发出不同波段的光源,DMD调制单点光进行照射微孔,通过不同波段光强做差,光强差转高度,从而进行快速求出高深宽比微孔的高度。

    一种连杆滑块变截面导流装置和截面可变的烟道

    公开(公告)号:CN110195875A

    公开(公告)日:2019-09-03

    申请号:CN201910444949.3

    申请日:2019-05-27

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种连杆滑块变截面导流装置,包括:沿着轴向设置在烟道内壁的固定挡板,其两端分别具有一安装滑块的轨道;两个滑块相向的一侧分别铰接一迎风/背风挡板,所述迎风/背风挡板相对的一侧分别与中间挡板的两侧铰接;所述中间挡板朝向烟道内壁的一侧连接一推杆,所述推杆沿着径向延伸出烟道外;推动或拉动所述推杆时,所述中间挡板沿着径向向内或向外移动,并带动滑块在滑轨上移动,从而改变所述迎风/背风挡板在轴向上的投影面积,以改变所述迎风/背风挡板对烟道截面的遮挡面积。从而实现可以方便调节烟道的截面积。

    一种多波段差动共聚焦显微3D测量方法和装置

    公开(公告)号:CN115200507B

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202210898540.0

    申请日:2022-07-28

    Abstract: 本发明提供一种多波段差动共聚焦显微3D测量方法,包括:系统开机、样本放置以及超精密三维显微闪测步骤,首先在多窄带波段成像模块中的黑白相机形成波段为相应波段的多光谱共聚焦图像,其次构建差动信号步骤,将N个多光谱共聚焦图像相邻波段两两做差构建N‑1个差动信号,采用实际测量获得的N‑1个差动信号强度并对应预先刻度所获得的差动信号强度与高度线性关系曲线,获得样本表面高度;实现精密乃至超精密且超快的显微3D测量,且能够进行高精度、大范围、高效率的微观三维形貌检测。

    一种多波段差动共聚焦显微3D测量方法和装置

    公开(公告)号:CN115200507A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210898540.0

    申请日:2022-07-28

    Abstract: 本发明提供一种多波段差动共聚焦显微3D测量方法,包括:系统开机、样本放置以及超精密三维显微闪测步骤,首先在多窄带波段成像模块中的黑白相机形成波段为相应波段的多光谱共聚焦图像,其次构建差动信号步骤,将N个多光谱共聚焦图像相邻波段两两做差构建N‑1个差动信号,采用实际测量获得的N‑1个差动信号强度并对应预先刻度所获得的差动信号强度与高度线性关系曲线,获得样本表面高度;实现精密乃至超精密且超快的显微3D测量,且能够进行高精度、大范围、高效率的微观三维形貌检测。

    一种连杆滑块变截面导流装置和截面可变的烟道

    公开(公告)号:CN110195875B

    公开(公告)日:2020-10-09

    申请号:CN201910444949.3

    申请日:2019-05-27

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种连杆滑块变截面导流装置,包括:沿着轴向设置在烟道内壁的固定挡板,其两端分别具有一安装滑块的轨道;两个滑块相向的一侧分别铰接一迎风/背风挡板,所述迎风/背风挡板相对的一侧分别与中间挡板的两侧铰接;所述中间挡板朝向烟道内壁的一侧连接一推杆,所述推杆沿着径向延伸出烟道外;推动或拉动所述推杆时,所述中间挡板沿着径向向内或向外移动,并带动滑块在滑轨上移动,从而改变所述迎风/背风挡板在轴向上的投影面积,以改变所述迎风/背风挡板对烟道截面的遮挡面积。从而实现可以方便调节烟道的截面积。

    一种高深宽比微孔的测量装置

    公开(公告)号:CN218481055U

    公开(公告)日:2023-02-14

    申请号:CN202222457428.1

    申请日:2022-09-15

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本申请涉及一种高深宽比微孔的测量装置,该装置包括相机、多通道光源、光束调节装置及载物台,所述载物台用于放置待测微孔样品;所述相机与所述载物台沿竖直方向同轴设置,所述相机与所述载物台之间设置光束调节装置;所述多通道光源用于输出不同的单色光源,并经由所述光束调节装置实现该测量所需光束的光强与方向转折;所述相机用于获取任一两种由待测微孔样品同一位置反射出的单色光源,并发送至计算机,采用多通道光源发出不同波段的光源,DMD调制单点光进行照射微孔,通过不同波段光强做差,光强差转高度,从而进行快速求出高深宽比微孔的高度。

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