公开(公告)号：CN102262293B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201010190130.8

申请日：2010-05-27

Applicant: 华为技术有限公司

Inventor： 温运生 ,  赵峻 ,  陈庆华 ,  张海霞 ,  吴文刚

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B6/3584 ,  C22F1/006 ,  G02B6/358 ,  G02B7/1827 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/0866

Abstract: 本发明实施例公开了一种光开关，其包括：半导体衬底，其包括第一转动部和设置在所述转动部两端的第一扭转梁，所述第一扭转梁用于带动所述第一转动部进行转动；微反射镜，其设置在所述半导体衬底的第一转动部的表面；第一锁定结构，其设置在所述第一扭转梁表面，且包括形态自适应重塑FSR材料层和热场源，所述热场源用于为所述FSR材料层提供热场，所述FSR材料层用于在所述热场作用下发生形态重塑，以将所述第一转动部和所述微反射镜锁定在转动后的位置。本发明实施例还进一步公开了一种光开关阵列。

公开(公告)号：CN102262293A

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN201010190130.8

申请日：2010-05-27

Applicant: 华为技术有限公司

Inventor： 温运生 ,  赵峻 ,  陈庆华 ,  张海霞 ,  吴文刚

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B6/3584 ,  C22F1/006 ,  G02B6/358 ,  G02B7/1827 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/0866

Abstract: 本发明实施例公开了一种光开关，其包括：半导体衬底，其包括第一转动部和设置在所述转动部两端的第一扭转梁，所述第一扭转梁用于带动所述第一转动部进行转动；微反射镜，其设置在所述半导体衬底的第一转动部的表面；第一锁定结构，其设置在所述第一扭转梁表面，且包括形态自适应重塑FSR材料层和热场源，所述热场源用于为所述FSR材料层提供热场，所述FSR材料层用于在所述热场作用下发生形态重塑，以将所述第一转动部和所述微反射镜锁定在转动后的位置。本发明实施例还进一步公开了一种光开关阵列。