公开(公告)号：CN117845191A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202211217587.2

申请日：2022-09-30

Applicant: 华为技术有限公司

Inventor： 段羽 ,  王振宇 ,  李泽 ,  上官廉朝 ,  范思雨 ,  刘俊彦 ,  吴欣凯 ,  刘云飞 ,  程泰 ,  陈远丰

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/18 ,  H01L23/29

Abstract: 本申请实施例提供一种复合薄膜，包括第一膜层，第一膜层至少包括第一无机有机杂化成分和第二成分，且所述第一无机有机杂化成分在所述第一膜层的厚度方向上是连续的，所述第二成分在所述第一膜层的厚度方向上是连续的；所述第二成分包括第二无机有机杂化成分或无机成分，若所述第二成分包括第二无机有机杂化成分，所述第二无机有机杂化成分与所述第一无机有机杂化成分的结构不相同。该复合薄膜包括含有无机有机杂化成分的掺杂膜，该复合薄膜的主体组分和掺杂组分在膜层厚度方向上连续存在，掺杂效果好，薄膜质量较高，且能够实现低含量掺杂。本申请实施例还提供了该复合薄膜的制备方法和应用。