公开(公告)号：CN112909092B

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202110068578.0

申请日：2021-01-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 周文利 ,  朱宇 ,  程丽 ,  龚清峰 ,  庄严

IPC: H01L29/78 ,  H01L29/06 ,  H01L29/16 ,  H01L29/165 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管‑石墨烯共价异质结隧穿场效应晶体管，属于隧穿场效应晶体管技术领域，包括：栅区，源区，漏区，沟道区；所述沟道区包括沿源区至漏区方向依次排布的沟道一段、沟道二段和沟道三段；所述沟道一段和沟道三段均为弯曲的zigzag型石墨烯纳米带，所述沟道二段为碳纳米管；所述源区与漏区均为armchair型石墨烯纳米带；所述源区、漏区以及沟道区组成石墨烯‑碳纳米管共价异质结。如此，在隧穿晶体管处于开态时，armchair型石墨烯(源区)中电子能够通过无带隙的zigzag型石墨烯直接输运到碳纳米管(沟道)；此时，碳纳米管沟道与armchair型石墨烯之间不存在隧穿势垒，电子从源区输运到沟道的几率大大增加，隧穿晶体管器件的开态饱和电流增加一个量级。

公开(公告)号：CN112909092A

公开(公告)日：2021-06-04

申请号：CN202110068578.0

申请日：2021-01-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 周文利 ,  朱宇 ,  程丽 ,  龚清峰 ,  庄严

IPC: H01L29/78 ,  H01L29/06 ,  H01L29/16 ,  H01L29/165 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管‑石墨烯共价异质结隧穿场效应晶体管，属于隧穿场效应晶体管技术领域，包括：栅区，源区，漏区，沟道区；所述沟道区包括沿源区至漏区方向依次排布的沟道一段、沟道二段和沟道三段；所述沟道一段和沟道三段均为弯曲的zigzag型石墨烯纳米带，所述沟道二段为碳纳米管；所述源区与漏区均为armchair型石墨烯纳米带；所述源区、漏区以及沟道区组成石墨烯‑碳纳米管共价异质结。如此，在隧穿晶体管处于开态时，armchair型石墨烯(源区)中电子能够通过无带隙的zigzag型石墨烯直接输运到碳纳米管(沟道)；此时，碳纳米管沟道与armchair型石墨烯之间不存在隧穿势垒，电子从源区输运到沟道的几率大大增加，隧穿晶体管器件的开态饱和电流增加一个量级。