一种用于提升MOCVD喷淋均匀性的光学检测装置

    公开(公告)号:CN112921307B

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202110073652.8

    申请日:2021-01-20

    Abstract: 本发明属于光学检测相关技术领域,并公开了一种用于提升MOCVD喷淋均匀性的光学检测装置。该装置包括生长反应单元和光学检测反馈调控单元,生长反应单元包括反应腔体、喷淋头、基座和加热器,气体从进气口进入喷淋头后,从喷淋头中喷出,在被加热后的基板上发生分解反应;光学检测反馈控制单元用于检测从喷淋头中喷出的气体的密度分布场,包括光源、相机和抛物面镜,检测中,打开光源,气体从喷淋头喷出后,气体分布较多的区域的光线被喷出的气体折射无法原路返回,在相机成像中形成较暗的区域,其它光线原路返回,在相机成像中形成较亮的区域,以此获得喷出气体的密度分布。通过本发明,解决喷淋不均匀、无法实时调控等问题。

    一种液体相对介电常数的测量方法及系统

    公开(公告)号:CN112526218B

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN202011300376.6

    申请日:2020-11-19

    Abstract: 本发明属于液体介电常数测量相关技术领域,其公开了一种液体相对介电常数的测量方法及系统,该方法包括:将待测液体滴加至介电材料层表面,获取此时所述待测液体的液滴与所述介电材料层的第一接触角;在所述介电材料层的背面设置至少覆盖所述液滴的金属层,将所述金属层和液滴分别与电源的正极和负极连接,以对所述液滴施加电压,稳定后获取此时所述液滴与所述介电材料层的第二接触角;根据上述第一接触角和第二接触角获取所述待测液体的相对介电常数。本申请中的方法和系统操作简单,普适性广,测量精度高。

    一种用于提升MOCVD喷淋均匀性的光学检测装置

    公开(公告)号:CN112921307A

    公开(公告)日:2021-06-08

    申请号:CN202110073652.8

    申请日:2021-01-20

    Abstract: 本发明属于光学检测相关技术领域,并公开了一种用于提升MOCVD喷淋均匀性的光学检测装置。该装置包括生长反应单元和光学检测反馈调控单元,生长反应单元包括反应腔体、喷淋头、基座和加热器,气体从进气口进入喷淋头后,从喷淋头中喷出,在被加热后的基板上发生分解反应;光学检测反馈控制单元用于检测从喷淋头中喷出的气体的密度分布场,包括光源、相机和抛物面镜,检测中,打开光源,气体从喷淋头喷出后,气体分布较多的区域的光线被喷出的气体折射无法原路返回,在相机成像中形成较暗的区域,其它光线原路返回,在相机成像中形成较亮的区域,以此获得喷出气体的密度分布。通过本发明,解决喷淋不均匀、无法实时调控等问题。

    一种液体相对介电常数的测量方法及系统

    公开(公告)号:CN112526218A

    公开(公告)日:2021-03-19

    申请号:CN202011300376.6

    申请日:2020-11-19

    Abstract: 本发明属于液体介电常数测量相关技术领域,其公开了一种液体相对介电常数的测量方法及系统,该方法包括:将待测液体滴加至介电材料层表面,获取此时所述待测液体的液滴与所述介电材料层的第一接触角;在所述介电材料层的背面设置至少覆盖所述液滴的金属层,将所述金属层和液滴分别与电源的正极和负极连接,以对所述液滴施加电压,稳定后获取此时所述液滴与所述介电材料层的第二接触角;根据上述第一接触角和第二接触角获取所述待测液体的相对介电常数。本申请中的方法和系统操作简单,普适性广,测量精度高。

    一种基于热电制冷及直接蒸发制冷的太阳能半导体空调伞

    公开(公告)号:CN109156946A

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201811002312.0

    申请日:2018-08-30

    Abstract: 本发明属于太阳能转换利用设备相关技术领域,其公开了一种基于热电制冷及直接蒸发制冷的太阳能半导体空调伞,所述空调伞包括基座、多个滑轮、伞杆、出风管、制冷组件及伞面,多个滑轮设置在所述基座的一侧,所述滑轮通过转动来带动所述空调伞移动;所述伞杆竖直设置,其一端连接于所述基座的一侧,另一端连接于所述伞面;所述制冷组件设置在所述基座内,其用于对空气进行制冷,并将冷却加湿后的空气传输给所述出风管;所述出风管的一端连接于所述基座,其位于所述伞面的正下方;所述出风管用于将冷却加湿后的空气喷出,其通过转动来360°调整出风方向及风速以满足伞面预定空间内的冷却。本发明提高制冷效果,实用性较强,节能环保。

    一种基于热电制冷及直接蒸发制冷的太阳能半导体空调伞

    公开(公告)号:CN209610110U

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201821410587.3

    申请日:2018-08-30

    Abstract: 本实用新型属于太阳能转换利用设备相关技术领域,其公开了一种基于热电制冷及直接蒸发制冷的太阳能半导体空调伞,所述空调伞包括基座、多个滑轮、伞杆、出风管、制冷组件及伞面,多个滑轮设置在所述基座的一侧,所述滑轮通过转动来带动所述空调伞移动;所述伞杆竖直设置,其一端连接于所述基座的一侧,另一端连接于所述伞面;所述制冷组件设置在所述基座内,其用于对空气进行制冷,并将冷却加湿后的空气传输给所述出风管;所述出风管的一端连接于所述基座,其位于所述伞面的正下方;所述出风管用于将冷却加湿后的空气喷出,其通过转动来360°调整出风方向及风速以满足伞面预定空间内的冷却。本实用新型提高制冷效果,实用性较强,节能环保。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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