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公开(公告)号：CN116182738A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310150616.6
申请日：2023-02-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密仪器相关技术领域，其公开了一种基于分波段多光谱的薄膜表界面轮廓同步测量方法及装置，测量装置包括分光模块、二向色镜、参考镜、成像透镜及光谱仪，分光模块用于将接收到的光线分为第一光束及第二光束，第一光束被待测的薄膜全波段反射；第二光束中部分波段的光被参考镜反射回来与薄膜反射回来的对应波段的光发生干涉，干涉光与薄膜反射回来的其余光进入光谱仪。本发明通过对光谱图像进行处理，即可同时得到薄膜样品的表界面轮廓，二向色镜的滤光功能使得同时得到干涉光谱和反射光谱，实现了单次曝光下对薄膜样品表界面轮廓的测量，不需要多次曝光或者对直接获得的光强再处理就可以直接得到测量样品干涉光谱和反射光谱。
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