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公开(公告)号：CN119827427A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202510071119.6
申请日：2025-01-16
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本申请属于光学测量相关技术领域，具体公开了一种宽光谱快照式椭偏仪的装调标定方法。本申请首先将装调的过程分为多步调制态；初步调制态为偏振元件间相对零度的状态，终步调制态为测量时的状态，中间多步调制态依次为由初步调制态到终步调制态的多个中间状态；推导出每步调制态下椭偏仪理论光谱信号的通道分布；随后按每步调制态逐步装调椭偏仪，使得每步调制态下的实际光谱信号的通道分布最接近对应理论光谱信号的通道分布；从所述实际光谱信号的通道分布中截取不同通道，逆傅里叶变换后组合得到各个波片的相位延迟量，完成椭偏仪的标定。本申请装调标定方法无需额外的装调标定仪器，装调标定过程快捷方便，且精度更高。
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公开(公告)号：CN115656048B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202211218802.0
申请日：2022-10-07
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于激光超声检测相关技术领域，其公开了一种基于模型的激光超声测量光源参数优化方法及设备，该方法包括以下步骤：(1)构建激光超声测量模型，包括光热激发模型、热声转换模型及声光测量模型；(2)基于光热激发模型及材料物理特性参数，采用不同的激光光源参数计算得到激光辐照下样本材料内部的温度随时间的分布；(3)基于热声转换模型计算得到样本材料内部的声信号随时间的分布；(4)基于激光光源参数及声光测量模型计算得到该样本材料的超声测量信号；(5)基于不同激光光源参数下的超声测量信号分析激光光源参数对样本材料的影响规律，以得到样本材料的最优激光光源参数。本发明避免了大量实验所导致的时间及物料成本的损耗。
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公开(公告)号：CN117368114A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311188558.2
申请日：2023-09-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种快照式椭偏测量方法及设备，所述设备包括光源、起偏臂、检偏臂、探测器及数据处理器；所述光源通过光纤连接于所述起偏臂，所述检偏臂设置在所述起偏臂的光路上，所述探测器设置在所述检偏臂的光路上；所述数据处理器与所述探测器相连接；所述起偏臂包括依次沿光路设置的第一透镜、起偏器及第一相位延迟器；所述检偏臂包括沿光路依次设置的第二相位延迟器、检偏器及第二透镜。本发明中偏振器件仅仅只有两个相位延迟器和两个偏振片，能够测量大多数各向同性样品，如各向同性薄膜，并且无运动部件，因此安装误差更容易控制，测量速度快且稳定。
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公开(公告)号：CN116339078A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310116536.9
申请日：2023-02-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于集成电路制造光学在线测量技术领域，公开了一种角分辨快照式套刻误差测量装置及方法，装置包括：探测光产生模块用于产生探测光；光谱调制模块用于将探测光依次进行第一次偏振、第一次相位调制后以不同的入射角照射在待测套刻样件上，并对反射后的多束光束依次进行第二次相位调制和第二次偏振，得到待测套刻样件反射的偏振调制光；角分辨光谱采集模块用于对所述偏振调制光进行光谱成像，得到待测套刻样件的角分辨光谱；套刻误差测量模块用于基于所述角分辨光谱获得在不同入射角下的待测套刻样件的套刻误差。本发明能够提升套刻误差的测量精度和测量的稳定性，克服了斜入射式结构光斑大的缺点，还保留了快照式椭偏仪简单快速测量的优点。
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公开(公告)号：CN113607068B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202110814894.8
申请日：2021-07-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光声测量信号特征的识别模型建立方法及提取方法，属于信号处理领域，包括：获得测量自不同种类的固体样品的多组一维时序光声测量信号，并标注出每组信号中的各特征信号所在的时域区间和类型，得到多个样本；将U‑Net模型中所有的卷积层、最大池化层和上采样均修改为1D形式，以建立一维U‑Net神经网络模型，用于预测一维时序光声测量信号中各类特征信号的时域分布概率曲线；将所有的样本划分为训练集、验证集和测试集，对一维U‑Net神经网络模型进行训练、验证和测试后，得到光声测量信号特征的识别模型。本发明能够有效解决现有的一维时序光声测量信号特征识别与提取方法的鲁棒性差、准确度低、无法区分不同膜层回声信号的技术问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112215119B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202011067984.7
申请日：2020-10-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超分辨率重建的小目标识别方法、装置及介质，方法包括：构建包括生成器和判别器的识别模型；以低分辨率图像作为生成器的输入，以超分辨率图像作为生成器的输出，以真实高分辨率图像或超分辨率图像作为判别器的输入，以判别器的输入为真实高分辨率图像的概率以及识别结果作为所述判别器的输出，结合生成器损失函数和判别器损失函数，训练识别模型；基于粒子群算法，选择训练好的模型在验证样本集上的F1分数作为适应度函数值，以最大的F1分数对应的β值作为最优权重系数，由此确定最优识别模型，并基于最优识别模型进行小目标识别。如此，能够有效提升模型对小目标的识别性能。
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公开(公告)号：CN110766657B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201910893060.3
申请日：2019-09-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06T7/00
Abstract: 本发明公开了一种激光干扰图像质量评价方法，包括：获取激光干扰图像及其对应的参考图像；采用相同卷积网络分别对激光干扰图像和参考图像依次进行多次不同层次特征提取的卷积池化操作；计算激光干扰图像和参考图像经相同次卷积池化时得到的特征向量之间的相似度，并对所有相似度之间进行加权计算得到图像质量评分。本发明在激光干扰图像质量评估中引入卷积网络，利用参考图像和干扰图像在卷积网络各卷积层输出特征的相识度，度量干扰图像的失真程度，充分利用卷积网络提取特征的层次性和对遮挡的敏感性。另外，将所有卷积池化对应的相似度值作加权计算，最终评价得分符合实际人眼主观感知，可靠性高，不需要检测目标和光斑的位置，应用场景较广。
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公开(公告)号：CN113607068A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110814894.8
申请日：2021-07-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光声测量信号特征的识别模型建立方法及提取方法，属于信号处理领域，包括：获得测量自不同种类的固体样品的多组一维时序光声测量信号，并标注出每组信号中的各特征信号所在的时域区间和类型，得到多个样本；将U‑Net模型中所有的卷积层、最大池化层和上采样均修改为1D形式，以建立一维U‑Net神经网络模型，用于预测一维时序光声测量信号中各类特征信号的时域分布概率曲线；将所有的样本划分为训练集、验证集和测试集，对一维U‑Net神经网络模型进行训练、验证和测试后，得到光声测量信号特征的识别模型。本发明能够有效解决现有的一维时序光声测量信号特征识别与提取方法的鲁棒性差、准确度低、无法区分不同膜层回声信号的技术问题。
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公开(公告)号：CN110766658A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201910899277.5
申请日：2019-09-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种无参考激光干扰图像质量评价方法，属于图像处理领域，该方法包括：构建支撑向量回归器；该支撑向量回归器包括：局部特征提取模块，对输入图像进行局部信息估计，得到局部信息估计特征；自然场景统计特征提取模块，对输入图像进行基于空间域的自然场景统计，得到自然场景统计特征；质量评分模块，根据局部信息估计特征和自然场景统计特征，对输入图像质量进行评分；将干扰图像数据集输入支撑向量回归器进行训练，得到训练好的支撑向量回归器；将待评价图像输入训练好的支撑向量回归器进行质量评价，得到待评价图像的质量评分。本发明能够真实描述激光干扰图像的失真，在不需要参考图像的基础上准确反映激光干扰图像的质量损失。
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公开(公告)号：CN107194896B
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201710415948.7
申请日：2017-06-05
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于邻域结构的背景抑制方法和系统，其中方法的实现包括：基于邻域像素点的灰度值得到结构向量，计算结构向量与邻域结构模板的相似性度量，将邻域结构模板分为目标模板和背景模板，利用相似性度量得到像素点为背景点的背景似然值和像素点为目标点的目标似然值；若目标似然值与背景似然值的比值大于等于阈值，则像素点为目标点，否则，像素点为背景点；以邻域像素点集合中背景点的灰度均值作为背景估计值，若像素点为背景点，直接抑制，若像素点为目标点，将目标点的灰度值减去背景估计值进行背景抑制。本发明同时具有良好的抑制效果、对不同背景类型的自适应性以及满足实时计算要求。
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