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公开(公告)号：CN105547184B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201510979765.9
申请日：2015-12-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种平面度误差测量装置其包括激光器、柔性铰链、静光栅、动光栅、测量头、压缩弹簧、底板以及光电探测器，测量头固定在柔性铰链的第一端部处并伸出，动光栅设置在柔性铰链的第一端部内，压缩弹簧一端与底板连接且另一端与柔性铰链的第一端部连接，压缩弹簧位于测量头的下方，柔性铰链的第二端部与底板固定，静光栅固定在底板上，其与动光栅平行相对且相邻设置，激光器也设置在底板上，光电探测器设置在静光栅出光端。本发明还提供一种二维扫描工作台。本发明装置可实时测量待补偿对象的平面度误差，以方便根据平面度误差进行补偿从而使待补偿对象始终具有良好的平面精度。
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公开(公告)号：CN106940389A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201710065121.8
申请日：2017-02-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01Q40/00
CPC classification number: G01Q40/00
Abstract: 本发明公开一种超分辨可溯源的白光干涉原子力扫描探针标定装置及其标定方法，上述的标定装置来执行标定方法，其中上述装置及方法的核心技术包括有可溯源超分辨位移计量系统，白光干涉零级条纹定位算法，原子力探针弯曲模型和标定流程；其中标定装置使探针产生形变，可溯源超分辨位移计量系统用于准确获取探针产生形变时的垂直位移，白光干涉零级条纹定位算法用于准确获取干涉条纹在探针悬臂上的位置，原子力探针弯曲模型用于拟合垂直位移与条纹位置之间的关系，标定流程为具体实施步骤。按照本发明实现的标定装置和标定方法，能够准确、快速的获取垂直位移与条纹位置之间的关系，实现白光干涉原子力探针扫描显微镜的准确测量。
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公开(公告)号：CN106940389B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201710065121.8
申请日：2017-02-06
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01Q40/00
Abstract: 本发明公开一种超分辨可溯源的白光干涉原子力扫描探针标定装置及其标定方法，上述的标定装置来执行标定方法，其中上述装置及方法的核心技术包括有可溯源超分辨位移计量系统，白光干涉零级条纹定位算法，原子力探针弯曲模型和标定流程；其中标定装置使探针产生形变，可溯源超分辨位移计量系统用于准确获取探针产生形变时的垂直位移，白光干涉零级条纹定位算法用于准确获取干涉条纹在探针悬臂上的位置，原子力探针弯曲模型用于拟合垂直位移与条纹位置之间的关系，标定流程为具体实施步骤。按照本发明实现的标定装置和标定方法，能够准确、快速的获取垂直位移与条纹位置之间的关系，实现白光干涉原子力探针扫描显微镜的准确测量。
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公开(公告)号：CN105547184A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510979765.9
申请日：2015-12-23
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种平面度误差测量装置其包括激光器、柔性铰链、静光栅、动光栅、测量头、压缩弹簧、底板以及光电探测器，测量头固定在柔性铰链的第一端部处并伸出，动光栅设置在柔性铰链的第一端部内，压缩弹簧一端与底板连接且另一端与柔性铰链的第一端部连接，压缩弹簧位于测量头的下方，柔性铰链的第二端部与底板固定，静光栅固定在底板上，其与动光栅平行相对且相邻设置，激光器也设置在底板上，光电探测器设置在静光栅出光端。本发明还提供一种二维扫描工作台。本发明装置可实时测量待补偿对象的平面度误差，以方便根据平面度误差进行补偿从而使待补偿对象始终具有良好的平面精度。
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