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公开(公告)号：CN117928712A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410198520.1
申请日：2024-02-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种检测次声波的光学传感器及系统，属于声波探测技术领域，所述光学传感器包括FP次声波传感器，传感器腔体上设有背腔通孔，FP次声波传感器的传感外壳上设有微流孔，微流孔的一端与外部介质连通，另一端与背腔通孔连通，以实现外部介质与传感器腔体的连通；微流孔包括键合的第一形成面和第二形成面，在第一形成面和第二形成面上刻蚀有呈镜面对称的微米级及以下的沟道槽，在第一形成面沟道槽的起始端刻蚀有与外部介质连通的外通孔，在第二形成面沟道槽的末端刻蚀有与传感器腔体连通的内通孔。还提供了对应的传感系统。本发明能够在微型化传感器的同时降低传感器的低频截止频率，提升对次声波信号的响应的灵敏度。
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