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公开(公告)号：CN103737427B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310740094.1
申请日：2013-12-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23Q17/00
Abstract: 本发明公开了一种机床多运动轴平行度的检测装置和方法，通过控制两个或多个平行运动轴组合互补运动后，利用CCD检测标定板上观测点P的偏移量来实现多运动轴平行度检测。将CCD测量装置固定在待检测运动轴上，控制待检测运动轴移动至上限位。主运动轴带动待检测运动轴向下运动使P清晰呈现在测量显示系统上。水平移动标定板使P与测量显示系统上的中心基准点O重合。主运动轴向上移动距离H，待检测运动轴向下移动距离H，此时标定板上的P显示于测量显示系统上点O’。通过计算O’和O之间的像素位置偏移并通过CCD的分辨率计算两运动轴间平行度。本发明实现了快捷方便的非接触式运动轴二维平行度测量，提高了测量和调整多运动轴平行度的效率。
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公开(公告)号：CN103801838B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201410041778.7
申请日：2014-01-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/042 , B23K26/046 , B23K26/064
Abstract: 本发明公开了一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法，本发明利用激光束离焦后功率密度梯度变小光斑变大的原理以及高速振镜扫描误差精确矫正方法，通过设置不同的在焦和离焦激光加工距离及对应功率参数和激光振镜扫描参数来控制激光光斑大小，对图形填充区采用离焦后的大光斑光栅扫描填充，然后对图形轮廓进行矢量扫描勾勒。本发明针对不同的工作距离预先进行振镜扫描误差矫正，生成高精度振镜扫描定位表，确保在不同激光加工距离获得同等高精度的振镜扫描定位效果。本发明能实现不同粗细线宽图形的快速精密刻蚀，兼顾了刻蚀精度和加工速度，可广泛应用于平面刻蚀系统和三维激光刻蚀系统，提高装备的加工效率。
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公开(公告)号：CN103878478B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201410042191.8
申请日：2014-01-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/03
Abstract: 本发明公开了一种基于多轴联动数控机床的三维激光加工定位测量装置及方法，它包括CCD检测系统、运动控制系统和显示系统；激光加工头安装于五轴联动数控机床末端，CCD检测系统随激光加工头安装于五轴联动数控机床末端，CCD检测系统包括CCD传感器、工业显微镜头和指示系统，CCD传感器和指示系统均安装在工业显微镜头上。本发明通过移动多轴联动数控机床各运动轴来调整安装在激光加工头上的CCD测量装置的空间位置和姿态，实现对工件定位点的精确定位观测，从而获取到相应定位点在机床坐标系的空间坐标。本发明具有测量单元模块化、易拆装，测量精度高的优点，可以满足激光加工中对大尺寸工件的高精度定位测量要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103878478A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410042191.8
申请日：2014-01-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/03
CPC classification number: B23K26/032
Abstract: 本发明公开了一种基于多轴联动数控机床的三维激光加工定位测量装置及方法，它包括CCD检测系统、运动控制系统和显示系统；激光加工头安装于五轴联动数控机床末端，CCD检测系统随激光加工头安装于五轴联动数控机床末端，CCD检测系统包括CCD传感器、工业显微镜头和指示系统，CCD传感器和指示系统均安装在工业显微镜头上。本发明通过移动多轴联动数控机床各运动轴来调整安装在激光加工头上的CCD测量装置的空间位置和姿态，实现对工件定位点的精确定位观测，从而获取到相应定位点在机床坐标系的空间坐标。本发明具有测量单元模块化、易拆装，测量精度高的优点，可以满足激光加工中对大尺寸工件的高精度定位测量要求。
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公开(公告)号：CN103801838A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410041778.7
申请日：2014-01-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/042 , B23K26/046 , B23K26/064
CPC classification number: B23K26/361 , B23K26/046 , B23K26/0643 , B23K26/0648
Abstract: 本发明公开了一种变线宽激光振镜扫描快速刻蚀方法及装置，本发明利用激光束离焦后功率密度梯度变小光斑变大的原理以及高速振镜扫描误差精确矫正方法，通过设置不同的在焦和离焦激光加工距离及对应功率参数和激光振镜扫描参数来控制激光光斑大小，对图形填充区采用离焦后的大光斑光栅扫描填充，然后对图形轮廓进行矢量扫描勾勒。本发明针对不同的工作距离预先进行振镜扫描误差矫正，生成高精度振镜扫描定位表，确保在不同激光加工距离获得同等高精度的振镜扫描定位效果。本发明能实现不同粗细线宽图形的快速精密刻蚀，兼顾了刻蚀精度和加工速度，可广泛应用于平面刻蚀系统和三维激光刻蚀系统，提高装备的加工效率。
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公开(公告)号：CN103737427A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310740094.1
申请日：2013-12-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23Q17/00
CPC classification number: B23Q17/2409 , B23Q17/007 , B23Q17/2452
Abstract: 本发明公开了一种机床多运动轴平行度的检测装置和方法，通过控制两个或多个平行运动轴组合互补运动后，利用CCD检测标定板上观测点P的偏移量来实现多运动轴平行度检测。将CCD测量装置固定在待检测运动轴上，控制待检测运动轴移动至上限位。主运动轴带动待检测运动轴向下运动使P清晰呈现在测量显示系统上。水平移动标定板使P与测量显示系统上的中心基准点O重合。主运动轴向上移动距离H，待检测运动轴向下移动距离H，此时标定板上的P显示于测量显示系统上点O’。通过计算O’和O之间的像素位置偏移并通过CCD的分辨率计算两运动轴间平行度。本发明实现了快捷方便的非接触式运动轴二维平行度测量，提高了测量和调整多运动轴平行度的效率。
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公开(公告)号：CN203791832U
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201420055434.7
申请日：2014-01-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/03
Abstract: 本实用新型公开了一种三维激光加工工件定位测量装置，它包括CCD检测系统、运动控制系统和显示系统；激光加工头安装于五轴联动数控机床末端，CCD检测系统随激光加工头安装于五轴联动数控机床末端，CCD检测系统包括CCD传感器、工业显微镜头和指示系统，CCD传感器和指示系统均安装在工业显微镜头上。本实用新型通过移动多轴联动数控机床各运动轴来调整安装在激光加工头上的CCD测量装置的空间位置和姿态，实现对工件定位点的精确定位观测，从而获取到相应定位点在机床坐标系的空间坐标。本实用新型具有测量单元模块化、易拆装，测量精度高的优点，可以满足激光加工中对大尺寸工件的高精度定位测量要求。
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公开(公告)号：CN203650130U
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201320877977.2
申请日：2013-12-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23Q17/00
Abstract: 本实用新型公开了一种机床多运动轴平行度的检测装置，包括CCD测量系统，测量显示系统和标定板；CCD测量系统和标定板使用时分别安装于待检测运动轴或基座上，CCD测量系统用于获取标定板的检测图像；测量显示系统与CCD测量系统电信号连接，用于接收标定板的检测图像，并用于对采集到的图像信息处理及平行度计算。采用本实用新型装置可以实现快捷方便的非接触式运动轴二维平行度测量，能够提高测量和调整多运动轴平行度的效率。
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