公开(公告)号：CN118438554A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410313681.0

申请日：2024-03-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  黄凯 ,  张建国 ,  吴宗璞 ,  郑正鼎 ,  段俊宇 ,  汪学方 ,  肖峻峰 ,  白龙

IPC: B28D5/04 ,  B28D7/00 ,  B28D7/04 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明公开了一种原位离子注入改性‑金刚石切削复合加工方法及系统，属于超精密技术加工领域，该方法包括步骤S1、对待加工工件进行表面轮廓扫描，根据目标工件面形进行切削轨迹规划，通过计算获取不同加工位置的拟切削去除量；步骤S2、基于切削轨迹，进行离子注入轨迹规划；步骤S3、实现离子注入深度与拟切削去除量对应的选择性离子注入；步骤S4、完成对刀；步骤S5、完成待切削区域的塑性改性；步骤S6、使刀具沿着改性区域运动，实现切削加工。本发明实现了大气环境的注入改性，获得与不同切削去除量对应的定制化改性层，实现了硬脆材料“改性—切削”一体化高效率高精度超精密制造。

公开(公告)号：CN118621287A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410314255.9

申请日：2024-03-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  孙浩 ,  段俊宇 ,  张建国 ,  翟辰鹏 ,  汪学方 ,  肖峻峰 ,  白龙

IPC: C23C14/48 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开一种应用于硬脆材料加工的基于等离子窗原位离子注入改性方法与系统，属于超精密加工技术领域。包括用于产生并控制得到平行运动的离子束的离子加速单元、用于离子束通过约束的等离子体后输出至大气环境的等离子体窗单元，以及用于实现离子束聚焦的静电透镜单元；本发明可以实现在大气环境下的离子传输，适用于大气环境下的离子注入改性、抛光修形等功能。避免了高真空环境，大大简化了设备和操作流程，降低了成本。并且，在大气环境下进行离子注入改性通常更加方便和快捷，不需要复杂的真空系统，且设备启动和关闭的时间短。离子注入可以在材料的特定区域进行，使得可以有选择性地改善材料的局部特性，具有极高的应用前景。