公开(公告)号：CN1259598C

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200310111573.3

申请日：2003-12-12

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 史铁林 ,  陈志凌 ,  熊良才 ,  柳海鹏 ,  周月豪 ,  马龙

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体；(3)注入电解质溶液后在电极之间施加电压，同时通入准分子激光控制电化学反应，完成加工过程。相应装置在激光微加工机工作台上装电化学反应室，它包括激光气动窗口、保护气体入口、真空泵接口、电解质溶液入口、显微探针阵列、平板电极、辅助电化学反应气体入口和废物出口。利用本发明可在金属、半导体基片上得到宽深比5-50、特征尺寸1-50微米的微结构，在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等领域有广泛用途。

公开(公告)号：CN1547079A

公开(公告)日：2004-11-17

申请号：CN200310111573.3

申请日：2003-12-12

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 史铁林 ,  陈志凌 ,  熊良才 ,  柳海鹏 ,  周月豪 ,  马龙

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明属于微制造领域，针对传统方法缺点，把准分子激光、集成电路制版光刻、电化学和扫描探针显微技术融合成新的加工方法，步骤为：(1)首先制备显微探针阵列；(2)将基片固定于平板电极和显微探针阵列之间，产生负压，注入保护气体；(3)注入电解质溶液后在电极之间施加电压，同时通入准分子激光控制电化学反应，完成加工过程。相应装置在激光微加工机工作台上装电化学反应室，它包括激光气动窗口、保护气体入口、真空泵接口、电解质溶液入口、显微探针阵列、平板电极、辅助电化学反应气体入口和废物出口。利用本发明可在金属、半导体基片上得到宽深比5－50、特征尺寸1－50微米的微结构，在环保、纺织、造纸、能源、信息和国防等领域有广泛用途。