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公开(公告)号：CN119086459A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411183820.9
申请日：2024-08-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法，属于椭偏测量技术领域。一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪，起偏支架和检偏支架均与竖直方向的夹角为θ0度；起偏支架上依次设置逐渐靠近样品放置台的太赫兹发射源、第一准直透镜、第一中空旋转电机和第一聚焦透镜；检偏支架上依次设置逐渐远离样品放置台的第二准直透镜、第二中空旋转电机、第二聚焦透镜和太赫兹探测器；第一波片和第二波片均为单频四分之一波片，分别固定设置在对应的中空旋转电机中；信号采集处理系统记录太赫兹探测器接收的不同角度下的光强信号，并根据多组光强信号数据得到待测薄膜样品的穆勒矩阵，反演得到待测薄膜样品的厚度和折射率。
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