公开(公告)号：CN114160398A

公开(公告)日：2022-03-11

申请号：CN202111336151.0

申请日：2021-11-12

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  张建国 ,  汪凯 ,  李欣欣 ,  余泳静 ,  付宇帆 ,  陈肖 ,  肖峻峰

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明公开了一种多模态谐振超声振动快刀超精密制造系统，包括：超声电源，用于输出两路独立且相位差可调的高频正弦交流电信号；加法电路，用于将两路正弦交流电信号进行无损叠加；功率放大器，用于将两路叠加后的两路电信号进行增益放大后输出复合电信号；多模态谐振超声振动快刀，包括超声换能器和金刚石刀具，超声换能器用于根据复合电信号产生目标轨迹的高频振动，并驱动金刚石刀具高频变换式沿切削深度方向间隙运动，从而实现对高柔性微/纳米复杂表面纹理加工的超精密制造；高频振动为一阶纵向振动和三阶纵向振动复合振动模态，三阶纵向振动频率为一阶纵向振动频率的三倍。本发明能同时实现高柔性和高效率的微/纳米结构超精密制造。