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公开(公告)号：CN115198252B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202210303352.9
申请日：2022-03-25
Applicant: 华中科技大学 , 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/04
Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积设备及原子层沉积薄膜的制备方法。本发明提供的原子层沉积设备包括：反应室，其具有反应腔，所述反应腔中设置有第一基片承载台和电极板，所述第一基片承载台用于承载基片，所述电极板位于所述第一基片承载台的上方；电源系统，其第一电极与所述第一基片承载台电连接，第二电极与所述电极板电连接，所述电源系统用于在所述第一基片承载台和所述电极板之间形成电场，以诱导用于在所述基片上沉积出的薄膜的生长取向。
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公开(公告)号：CN115198252A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210303352.9
申请日：2022-03-25
Applicant: 华中科技大学 , 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/04
Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积设备及原子层沉积薄膜的制备方法。本发明提供的原子层沉积设备包括：反应室，其具有反应腔，所述反应腔中设置有第一基片承载台和电极板，所述第一基片承载台用于承载基片，所述电极板位于所述第一基片承载台的上方；电源系统，其第一电极与所述第一基片承载台电连接，第二电极与所述电极板电连接，所述电源系统用于在所述第一基片承载台和所述电极板之间形成电场，以诱导用于在所述基片上沉积出的薄膜的生长取向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114743928A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210319015.9
申请日：2022-03-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/768 , H01L23/522
Abstract: 本发明涉及一种通孔填充方法及通孔填充装置，该通孔填充方法包括以下步骤：在基体上刻蚀通孔，通孔的底壁为第一表面，通孔的侧壁为第二表面；使用ALD工艺将第一前驱体导向所述第一表面和所述第二表面以形成第一填充层；使用CVD工艺将第二前驱体导向所述通孔内以形成第二填充层。上述通孔填充方法中，采用ALD工艺和CVD工艺结合的方法来填充通孔，能同时兼顾填充质量和填充效率，能更好地满足通孔尤其是高深宽比的通孔的填充需要。
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公开(公告)号：CN110686823A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201911003618.2
申请日：2019-10-22
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于压电传感器领域，并公开了一种高灵敏度压电式气压传感器及其制备方法。该气压传感器自上而下包括阻隔层、功能层和腔体层，其中，阻隔层为弹性薄膜，用于保护功能层不受外界的侵蚀；功能层包括云母薄膜、压电薄膜和电极，云母薄膜作为压电薄膜的载体，压电薄膜附着在云母薄膜上，电极设置在压电薄膜上；腔体层设置在功能层的下方，该腔体层的基底和功能层形成密封的空腔；当外界的气压与空腔内的气压形成气压差时，压电薄膜发生形变并将该形变转变为电信号，电极将该电信号传递给检测装置，以此实现气压的检测。本发明还公开了上述气压传感器的制备方法。通过本发明，制备的气压传感器的柔性好，灵敏度高。
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公开(公告)号：CN108531834B
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201810344769.3
申请日：2018-04-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开耐磨耐蚀高铬铁基非晶合金及其制备方法，属于非晶合金领域，所述铁基非晶合金体系的原子百分比表达式为(Fe1‑aNia)77‑x‑y‑zCrxMoyCuz(C1‑bPb)15B6Y2,其中x＝23～27,y＝18～22,z＝0～8,a＝0～0.1,b＝0～0.1。通过合理调控该体系中的Cr、Mo含量能够有效提高热稳定性、硬度、耐磨性以及耐腐蚀性能；通过进一步微量掺杂能降低该体系的剪切模量，从而一定程度提高非晶合金的断裂韧性，有利于进一步提高耐磨性；通过添加Cu元素，能够使得非晶合金具有一定抗菌性。制备该非晶合金的方法简单。本发明的合金可在表面工程、海洋工业、生物医用等领域应用。
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公开(公告)号：CN110132459A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910341785.1
申请日：2019-04-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性压电应力传感器相关技术领域，并公开了一种柔性压电应力传感器的制备方法，包括：在基体上蒸镀银电极制备得到底电极；压电层是溶液旋涂方法得到的二甲基硅氧烷包覆10～30wt.％压电纳米片，压电纳米片由化学合成方法制备钇掺杂的氧化锌构成；在压电层表面蒸镀形成顶电极，同时形成三明治构造体；将三明治构造体从玻璃基体上剥离下来，用微米级的铜线将上下电极引出，最后通过PET薄膜将电极封装得到柔性压电薄膜传感器。本发明还公开了相应的产品。通过本发明，提供了一种新型的制备路线，同时具有柔性好、结构简单、稳定性好、灵敏度高等优点，因而尤其适用于人体健康监测、仿生机器人等领域。
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公开(公告)号：CN108531834A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810344769.3
申请日：2018-04-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开耐磨耐蚀高铬铁基非晶合金及其制备方法，属于非晶合金领域，所述铁基非晶合金体系的原子百分比表达式为(Fe1-aNia)77-x-y-zCrxMoyCuz(C1-bPb)15B6Y2,其中x＝23～27,y＝18～22,z＝0～8,a＝0～0.1,b＝0～0.1。通过合理调控该体系中的Cr、Mo含量能够有效提高热稳定性、硬度、耐磨性以及耐腐蚀性能；通过进一步微量掺杂能降低该体系的剪切模量，从而一定程度提高非晶合金的断裂韧性，有利于进一步提高耐磨性；通过添加Cu元素，能够使得非晶合金具有一定抗菌性。制备该非晶合金的方法简单。本发明的合金可在表面工程、海洋工业、生物医用等领域应用。
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