公开(公告)号：CN1666952A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN200510018470.1

申请日：2005-03-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 汪学方 ,  史铁林 ,  张鸿海 ,  刘胜 ,  施阳和 ,  甘志银 ,  谢勇君

IPC: B81C5/00 ,  G01H11/06

Abstract: 本发明公开了一种MEMS圆片或器件的动态测试加载装置，该装置的结构为：透光片置于腔体的开口端面上，与腔体构成密封腔，在腔体上装有电极，开有充气口、抽真空口和真空计接口，支架固定在腔体的底座上，调节螺钉装在支架的底座内，压电陶瓷置于支架内，其下端与调节螺钉相接，上端与支架相接，支承板固定在支架上，圆片压条与支承板相固定。该装置通过压电陶瓷可以得到精确的振动频率和振幅，能够实现频率和振幅在相对较大的范围内变化，而且便于控制，可为MEMS圆片或器件测试时，提供不同的真空度，不同的温度和不同的振动状态环境。

公开(公告)号：CN1282598C

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN200510018470.1

申请日：2005-03-29

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 汪学方 ,  史铁林 ,  张鸿海 ,  刘胜 ,  施阳和 ,  甘志银 ,  谢勇君

IPC: B81C5/00 ,  G01H11/06

Abstract: 本发明公开了一种MEMS圆片或器件的动态测试加载装置，该装置的结构为：透光片置于腔体的开口端面上，与腔体构成密封腔，在腔体上装有电极，开有充气口、抽真空口和真空计接口，支架固定在腔体的底座上，调节螺钉装在支架的底座内，压电陶瓷置于支架内，其下端与调节螺钉相接，上端与支架相接，支承板固定在支架上，圆片压条与支承板相固定。该装置通过压电陶瓷可以得到精确的振动频率和振幅，能够实现频率和振幅在相对较大的范围内变化，而且便于控制，可为MEMS圆片或器件测试时，提供不同的真空度，不同的温度和不同的振动状态环境。