-
公开(公告)号：CN115821220B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202211522481.3
申请日：2022-11-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于磁控溅射薄膜沉积相关技术领域，其公开了一种用于多元素复合薄膜制备的磁控靶及溅射方法，磁控靶包括多元素拼接靶、冷却水系统及磁控系统，冷却水系统设置在多元素拼接靶与磁控系统之间；冷却水系统包括冷却水道及磁屏蔽百叶，磁屏蔽百叶设置在冷却水道内，其用于对多元素拼接靶的靶面进行选择性地磁屏蔽；磁屏蔽百叶与多元素拼接靶的位置相对应，且磁屏蔽百叶能够相对于冷却水道旋转及伸缩；磁控靶通过磁屏蔽百叶的旋转及伸缩来控制多元素拼接靶的靶面各个区域的磁场强弱，进而调节多元素拼接靶的各个区域相应元素的溅射强度。本发明实现了单个靶台同时或轮流溅射多种元素，解决了单个磁控靶无法制备复合材料和多层膜的问题。
-
公开(公告)号：CN109647401A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811529505.1
申请日：2018-12-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B01J23/745 , B01J35/10 , C02F1/72 , C02F1/70 , C02F1/461 , C02F1/42 , C02F101/34 , C02F101/36 , C02F101/38
Abstract: 本发明属于功能性复合材料领域，并公开了一种三维多孔石墨烯复合材料及其制备方法和应用。该制备方法包括：在室温并且无氧的条件下，向氧化石墨烯中滴加FeSO4和Al2(SO4)3的混合溶液，搅拌均匀获得固液混合物；向该固液混合物中添加KBH4溶液，并在无氧的环境下搅拌一段时间使其充分反应，然后将生成的沉淀进行预冻后冷冻干燥制得所述三维多孔石墨烯复合材料。本发明将纳米零价铁/铝包覆在石墨烯中，不仅能够避免纳米粒子的团聚，并且易于分离回收，能够减缓甚至阻止活性组分的失活，使其保持较高的催化活性；此外本发明制备的三维多孔石墨烯复合材料在无需外加药剂的条件下可以与废水中的抗生素反应，适用的pH范围较宽。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117344279A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311440934.2
申请日：2023-10-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于磁控溅射薄膜沉积相关技术领域，并公开了一种用于大面积薄膜制备的磁控系统。该磁控系统包括沉积基片和移动靶，沉积基片与移动靶相对设置，移动靶包括靶材、供气环和动态磁体，该靶材与电场阴极连接使得靶材作为磁控溅射的阴极靶材，供气环用于向靶材周围提供反应气体，动态磁铁设置在移动靶中，用于在靶材周围提供磁场范围可调的磁场；当移动靶的中心与沉积基片的圆心在同一水平线上时，磁场范围最小，在沉积基片上形成的沉积斑面积最小，当移动靶沿着沉积基片的半径方向远离该沉积基片的圆心运动时，磁场范围逐渐增大，在沉积基片上形成的沉积斑面积逐渐增大。通过本发明，解决现有技术中大面积薄膜制备的沉积均匀性难以调控的问题。
-
公开(公告)号：CN114000191A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202111269150.9
申请日：2021-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: C30B23/06
Abstract: 本发明公开了一种用于分子束外延均匀加热的系统及加热方法，属于晶体薄膜外延生长技术领域，包括样品台、加热组件和隔热组件；样品台内部设有隔热组件，其底部用于放置衬底基片；加热组件包括电机、加热器支架和红外线辐射加热器；加热器支架的一端与所述电机的输出轴相连，其另一端依次穿过样品台、隔热组件后与红外线辐射加热器相连；电机用于驱动加热器支架旋转从而带动红外线辐射加热器转动以对位于样品台底部的衬底基片的一面加热。本发明通过驱动加热器支架旋转带动红外线辐射加热器转动，在沉积过程中可以使衬底温度保持均匀稳定，操作简单，普适性广，加热均匀性高。
-
公开(公告)号：CN114000191B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111269150.9
申请日：2021-10-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: C30B23/06
Abstract: 本发明公开了一种用于分子束外延均匀加热的系统及加热方法，属于晶体薄膜外延生长技术领域，包括样品台、加热组件和隔热组件；样品台内部设有隔热组件，其底部用于放置衬底基片；加热组件包括电机、加热器支架和红外线辐射加热器；加热器支架的一端与所述电机的输出轴相连，其另一端依次穿过样品台、隔热组件后与红外线辐射加热器相连；电机用于驱动加热器支架旋转从而带动红外线辐射加热器转动以对位于样品台底部的衬底基片的一面加热。本发明通过驱动加热器支架旋转带动红外线辐射加热器转动，在沉积过程中可以使衬底温度保持均匀稳定，操作简单，普适性广，加热均匀性高。
-
公开(公告)号：CN115821220A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211522481.3
申请日：2022-11-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于磁控溅射薄膜沉积相关技术领域，其公开了一种用于多元素复合薄膜制备的磁控靶及溅射方法，磁控靶包括多元素拼接靶、冷却水系统及磁控系统，冷却水系统设置在多元素拼接靶与磁控系统之间；冷却水系统包括冷却水道及磁屏蔽百叶，磁屏蔽百叶设置在冷却水道内，其用于对多元素拼接靶的靶面进行选择性地磁屏蔽；磁屏蔽百叶与多元素拼接靶的位置相对应，且磁屏蔽百叶能够相对于冷却水道旋转及伸缩；磁控靶通过磁屏蔽百叶的旋转及伸缩来控制多元素拼接靶的靶面各个区域的磁场强弱，进而调节多元素拼接靶的各个区域相应元素的溅射强度。本发明实现了单个靶台同时或轮流溅射多种元素，解决了单个磁控靶无法制备复合材料和多层膜的问题。
-
公开(公告)号：CN109647401B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201811529505.1
申请日：2018-12-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: B01J23/745 , B01J35/10 , C02F1/72 , C02F1/70 , C02F1/461 , C02F1/42 , C02F101/34 , C02F101/36 , C02F101/38
Abstract: 本发明属于功能性复合材料领域，并公开了一种三维多孔石墨烯复合材料及其制备方法和应用。该制备方法包括：在室温并且无氧的条件下，向氧化石墨烯中滴加FeSO4和Al2(SO4)3的混合溶液，搅拌均匀获得固液混合物；向该固液混合物中添加KBH4溶液，并在无氧的环境下搅拌一段时间使其充分反应，然后将生成的沉淀进行预冻后冷冻干燥制得所述三维多孔石墨烯复合材料。本发明将纳米零价铁/铝包覆在石墨烯中，不仅能够避免纳米粒子的团聚，并且易于分离回收，能够减缓甚至阻止活性组分的失活，使其保持较高的催化活性；此外本发明制备的三维多孔石墨烯复合材料在无需外加药剂的条件下可以与废水中的抗生素反应，适用的pH范围较宽。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.014 seconds)
