一种动梁式龙门双轴不同步因素闭环辨识补偿方法及系统

    公开(公告)号:CN117003127A

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN202310899866.X

    申请日:2023-07-19

    Abstract: 本发明公开了一种动梁式龙门双轴不同步因素闭环辨识补偿方法及系统,属于系统辨识与误差补偿领域,包括:用位移指令对动梁式龙门的双轴进行闭环控制,使龙门在每个运动周期都运行在所允许限幅值内;在每个运动周期内执行以下步骤:S1、判断是否满足辨识终止条件,若是,转入S4;否则,转入S2;S2、用当前运动周期内的同步误差信号计算当前运动周期的自适应参考性能指标;S3、根据自适应律对双轴不同步因素kj、ka分别进行辨识,并根据当前运动周期的辨识结果调整下一个运动周期的同步补偿值,以更新下一个运动周期的同步误差信号;S4、用当前的同步补偿值补偿双轴闭环控制中对应的电流指令。本发明能够提升辨识效率和稳定性,以及同步控制性能。

    一种偏振反射测量系统及结构参数测量方法

    公开(公告)号:CN112730266A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011488791.9

    申请日:2020-12-16

    Abstract: 本发明属于半导体测试测量领域,并具体公开了一种偏振反射测量系统及结构参数测量方法,其包括从上至下同轴设置的光谱仪探测器、聚焦透镜、第一分光镜、第二分光镜、偏振片、反射式物镜和样品台,第一分光镜一侧设有照明光源、管镜和CCD相机,照明光源的照明光经过第一分光镜、第二分光镜、偏振片、反射式物镜、待测样品,然后原路返回,经管镜汇聚到CCD相机中成像;第二分光镜一侧设置有测量光源和准直透镜,测量光源的测量光经过准直透镜、第二分光镜、偏振片、反射式物镜、待测样品上,然后原路返回至第二分光镜,并由聚焦透镜导入光谱仪探测器中。本发明加入成像光路并调整偏振片位置,可精确表征测量区域,同时提高测量精度。

    一种偏振反射测量系统及其检测方法

    公开(公告)号:CN112362592A

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN202011187034.8

    申请日:2020-10-30

    Abstract: 本发明属于半导体测试领域,并具体公开了一种偏振反射测量系统及其检测方法。该系统包括从上至下依次设置的光谱仪探测器、聚焦透镜、第一分光镜、步进电机、偏振片、反射式物镜和样品台,同时该系统还包括设置在第一分光镜一侧的测量光源和准直透镜。该系统创造性地将光路系统中的偏振片从两片降低为一片,并将其放置在反射式物镜和第一分光镜之间,使得该偏振片既提供检偏器的功能,也同时起到起偏器作用,在不影响测量精度的同时既节约了成本,又大大降低了光学模型的校准误差,能够完成微米级大深宽比结构的测量,并且有效提高了测量系统的测量精度。

    一种基于空间域信息的直线运动系统健康监测方法

    公开(公告)号:CN110927485B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201911125048.4

    申请日:2019-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于空间域信息的直线运动系统健康监测方法,属于机电系统健康状态监测领域,包括:测量直线运动系统的空间位置信号,以及拖动直线运动系统的交流电机的电信号;将基于时间域的电信号转换到空间域;计算局部行程区间的局部特征指标,以及整个运动行程的全局特征指标;判断局部特征指标和全局特征指标是否超过对应的设定阈值;若任一指标超过设定阈值,则直线运动系统在对应的空间位置处为异常状态;若否,则直线运动系统的运动行程均为健康状态。本发明将基于时间域的测量信息转换到空间域,能全面、准确地反映直线运动系统在整个运动行程上的健康状态,并指示异常状态发生的位置,对直线运动系统全行程监控具有较大的应用价值。

    一种用于机械运动系统的多域故障特征提取方法和系统

    公开(公告)号:CN113378678B

    公开(公告)日:2022-04-22

    申请号:CN202110610228.2

    申请日:2021-06-01

    Abstract: 本发明公开了一种用于机械运动系统的多域故障特征提取方法和系统,属于机械系统故障诊断与健康评估领域。本发明可以根据实际工程需要以及旋转和往复运动的特点,从时域、位置域、时频域以及时域位置域转换过程中提取多重故障特征,能较好地反映机械系统运行规律与故障机理,能够应用于机器学习等智能诊断系统中,辅助实现高精度故障诊断。本发明提出的多域故障特征提取方法也可以作为一种信号预处理手段,用以克服运行速度变化与噪声、外界干扰对时域采样信号的影响。

    一种用于机械运动系统的多域故障特征提取方法和系统

    公开(公告)号:CN113378678A

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN202110610228.2

    申请日:2021-06-01

    Abstract: 本发明公开了一种用于机械运动系统的多域故障特征提取方法和系统,属于机械系统故障诊断与健康评估领域。本发明可以根据实际工程需要以及旋转和往复运动的特点,从时域、位置域、时频域以及时域位置域转换过程中提取多重故障特征,能较好地反映机械系统运行规律与故障机理,能够应用于机器学习等智能诊断系统中,辅助实现高精度故障诊断。本发明提出的多域故障特征提取方法也可以作为一种信号预处理手段,用以克服运行速度变化与噪声、外界干扰对时域采样信号的影响。

    一种用于多电机驱动系统的漏电流抑制方法

    公开(公告)号:CN112468023A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN202011448800.1

    申请日:2020-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种用于多电机驱动系统的漏电流抑制方法,属于装备制造技术领域,在多电机驱动系统加工装备中,基于工业以太网总线的同步机制,在实现各驱动单元PWM波形更新同步,以及电流环、速度环和位置环三环控制同步的基础上,通过改进PWM更新策略,使得物理上相邻的驱动单元轴的共模电压符号相反,进而实现两个驱动单元之间高频漏电流的相互抵消。将该方法应用于多轴运动系统各驱动单元,从而实现多电机驱动系统总漏电流的有效减少。如此,本发明在不增加硬件成本的同时,可以显著的抑制多电机驱动系统运行中产生的漏电流,提高多电机驱动系统运行的可靠性,并且易于工程实现。

    一种基于空间域信息的直线运动系统健康监测方法

    公开(公告)号:CN110927485A

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201911125048.4

    申请日:2019-11-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于空间域信息的直线运动系统健康监测方法,属于机电系统健康状态监测领域,包括:测量直线运动系统的空间位置信号,以及拖动直线运动系统的交流电机的电信号;将基于时间域的电信号转换到空间域;计算局部行程区间的局部特征指标,以及整个运动行程的全局特征指标;判断局部特征指标和全局特征指标是否超过对应的设定阈值;若任一指标超过设定阈值,则直线运动系统在对应的空间位置处为异常状态;若否,则直线运动系统的运动行程均为健康状态。本发明将基于时间域的测量信息转换到空间域,能全面、准确地反映直线运动系统在整个运动行程上的健康状态,并指示异常状态发生的位置,对直线运动系统全行程监控具有较大的应用价值。

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