公开(公告)号：CN112378860A

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN202011146847.2

申请日：2020-10-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈修国 ,  陈超 ,  盛胜 ,  周军宏 ,  刘世元

IPC: G01N21/21 ,  G06F17/14 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明属于精密光学测量仪器系统校准相关技术领域，其公开了一种旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法，该方法包括：将旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪的成像透镜和物镜分别更换为1/4标准波片和反射镜；多次旋转所述1/4标准波片的方位角，并从旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪的探测器处分别获取多个方位角下的光强信息；对光强信息进行傅里叶分析获得光强信息的傅里叶系数；建立光强信息的傅里叶系数与待校准系统参数的关系模型；不断调整关系模型中待校准系统参数的取值，直至关系模型中的傅里叶系数与上述傅里叶系数的误差在预设范围内则此时待校准系统参数对应的取值即为校准值。该方法通过两步校准即可实现对多个校准值的校准，简单方便。

公开(公告)号：CN112378860B

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202011146847.2

申请日：2020-10-23

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈修国 ,  陈超 ,  盛胜 ,  周军宏 ,  刘世元

IPC: G01N21/21 ,  G06F17/14 ,  G06F17/16

Abstract: 本发明属于精密光学测量仪器系统校准相关技术领域，其公开了一种旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪系统参数的校准方法，该方法包括：将旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪的成像透镜和物镜分别更换为1/4标准波片和反射镜；多次旋转所述1/4标准波片的方位角，并从旋转器件型穆勒矩阵椭偏仪的探测器处分别获取多个方位角下的光强信息；对光强信息进行傅里叶分析获得光强信息的傅里叶系数；建立光强信息的傅里叶系数与待校准系统参数的关系模型；不断调整关系模型中待校准系统参数的取值，直至关系模型中的傅里叶系数与上述傅里叶系数的误差在预设范围内则此时待校准系统参数对应的取值即为校准值。该方法通过两步校准即可实现对多个校准值的校准，简单方便。